准分子灯的利记博彩app

专利名称：准分子灯的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及准分子灯，尤其是具有由二氧化硅玻璃构成的放电容 器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极， 在上述放电容器的内部发生准分子放电的准分子灯。
背景技术：
近年来，开发了通过将波长200nm以下的真空紫外光照射在由金 属、玻璃及其它材料构成的被处理体上从而利用该真空紫外光及由其 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 的表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术正在实用化。
作为照射真空紫外光的装置，例如将通过准分子放电形成准分子 分子、利用从该准分子分子放射的光如波长170nm附近的光的准分子 灯作为光源使用，在这种准分子灯中，为了更有效率地放射更高强度 的紫外线，实施了很多尝试。
图7表示专利文献1所示的准分子灯30的概略构成，图7 (a)是 沿着准分子灯的长边方向的剖面图，图7 (b)是表示由图7 (a)的A-A 的剖面观察的剖面图。
如该图所示，该准分子灯30具备由透射紫外线的二氧化硅玻璃构 成的外形为竹轮状的放电容器31，在放电容器31的外侧管32与内侧 管33分别设有电极34与电极35。在暴露于放电容器31的放电空间S 的表面上形成有紫外线反射膜37，而作为紫外线反射膜37，示出了仅 由二氧化硅粒子构成的膜，及仅由氧化铝粒子构成的膜的实施例。在该准分子灯30中，在放电容器31的一部分上，由未形成有紫外线反 射膜37的光出射部36射出在放电空间S内产生的紫外线。
根据该准分子灯30，在暴露于放电容器31的放电空间S的表面 上设有紫外线反射膜37，由此在设有紫外线反射膜37的区域中，在放 电空间S内产生的紫外线被紫外线反射膜37反射，因而不会入射到二 氧化硅玻璃。与此相对地，仅在构成光出射部36的区域中，紫外线透 射二氧化硅玻璃并被放射至外部，因而可有效地利用在放电空间S内 产生的紫外线。而且可将构成光出射部36以外的区域的二氧化硅玻璃 的紫外线失真所致的损坏抑制成较小，可防止产生裂痕。
专利文献l:日本专利第3580233号公报
然而，在如图7所示的准分子灯中，当点亮准分子灯时，会产生 紫外线反射膜37的端部38剥落的问题。由紫外线反射膜37剥落的切 片停留在放电容器31内，也会滞留在作为光出射部36的部分的放电 容器31的内表面。由光出射部36放射的准分子光被从紫外线反射膜 37剥落的切片遮住，因而准分子灯的放射光量会减少。并且，放电容 器31内表面上形成有紫外线反射膜37的区域减少，也成为准分子灯 的放射光量减少的原因。

发明内容
本发明的目的在于鉴于上述问题，提供一种能够防止紫外线反射 膜的反射膜形成开始区域从放电容器剥落，可长时间地维持准分子光 的放射光量的准分子灯。
本发明为了解决上述课题，采用如下方案。
第1方案是一种准分子灯，具备具有放电空间的由二氧化硅玻璃 构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的 放电空间内发生准分子放电，其特征在于在暴露于上述放电容器的 放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外 线反射膜，上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚比该反射 膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄。
第2方案是在第1手段的准分子灯中，其特征在于，上述紫外线 反射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度，比上述反射膜形成开始 区域以外的部分的氧化铝浓度小。
第3方案是在第2方案的准分子灯中，其特征在于，上述紫外线 反射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度是10wt。/。以下。
第4方案是在第1至第3方案的任一方案的准分子灯中，其特征 在于，上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚为21pm以下。
第5方案是在第1方案的准分子灯中，其特征在于，将上述紫外 线反射膜的反射膜形成开始区域的上述二氧化硅粒子的中心粒径设为 A，将上述氧化铝粒子的中心粒径设为B时，满足A/B〈10的关系。
根据第1方案所述的发明，紫外线反射膜通过使反射膜形成开始 区域的膜厚比该反射膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄，可提高与 放电容器的粘合性。并且，在上述反射膜形成开始区域以外的部分， 紫外线反射膜的膜厚充分厚，能够确保反射性能，因而可提高准分子 灯的准分子光的放射光量。
根据第2方案所述的发明，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的氧化铝浓度比该反射膜形成开始区域以外的部分的氧化铝浓 度小，可提高与放电容器的接合力，防止反射膜形成开始区域的紫外 线反射膜从放电容器剥落。并且，在反射膜形成开始区域以外的部分能够维持相邻的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的晶界，因而即使在长时 间点灯时，也可维持准分子光的放射光量。
根据第3方案所述的发明，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开
始区域的氧化铝浓度为10wtM以下，可更确实地防止紫外线反射膜从
二氧化硅破璃构成的基材剥落。
根据第4方案所述的发明，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的膜厚为21pm以下，则可更确实地防止紫外线反射膜从二氧化 硅玻璃构成的基材剥落。
根据第5方案所述的发明，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的二氧化硅粒子的中心粒径为氧化铝粒子的中心粒径的10倍以 下，轻的二氧化硅粒子滞留在放电容器的短边面或端面的内表面区域， 重的氧化铝粒子容易滞留在作为底面的长边面的内表面区域，可防止 紫外线反射膜从短边面或端面的内表面区域剥离，而且可使来自长边 面的内表面区域的紫外线反射膜的反射确实。


图1是表示一个实施方式的准分子灯10的概略构成的剖面图。
图2是放大表示形成在图1所示的放电容器11的短边面13b的紫 外线反射膜18的一部分的局部放大剖面图。
图3是表示通过扫描型电子显微镜(SEM)观察的粒子的放大投 影图像的一例子的图。
图4是用以说明为了在放电容器11的内表面区域形成紫外线反射 膜18而流入涂布液的状态的说明用剖面图。
图5是表示实验例1的结果的表。
图6是表示实验例2的结果的表。
图7是表示已知技术的准分子灯30的概略构成的剖面图。
具体实施例方式
使用图1至图6来说明本发明的一个实施方式。
图1是表示本实施方式的发明的准分子灯10的概略构成的图，图
1 (a)是表示沿着准分子灯10的长边方向的剖面图，图1 (b)是表示 从图1 (a)的A-A的剖面观看的剖面图。
如该图所示，准分子灯IO具备两端被气密地封闭而在内部形成有 放电空间S的剖面为矩形的中空长尺状的放电容器11，在放电容器11 的内部作为放电用气体封入有氙气体。氙气体是的封入量为压力达到 例如10 60kPa (100 600mbar)的范围内。
放电容器11由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃例如合成 石英玻璃构成，具有作为介电体的功能。并且，放电容器ll形成为 由长尺状板玻璃构成的长边面12a、 12b相对配置，由连接长边面12a 与长边面12b的短边面13a、 13b形成剖面为矩形的管。长边方向的两 端由端面14a、 14b封闭，形成放电空间被气密地密封的放电容器11。
在放电容器11的长边面12a、 12b的外表面上， 一对格子状电极 15、 16向着放电容器11的长边方向延伸地相对形成。在长边面12a的 外表面上配置有作为高电压供电电极起作用的一方的电极15，在长边 面12b的外表面上配置有作为接地电极起作用的另一方的电极16。由 此，成为在一对电极15、 16间介设有作为介电体起作用的放电容器11 的状态。电极15、 16例如通过将金属构成的电极材料糊膏涂布于放电 容器ll，或是通过打印印刷而形成。当点灯电力提供给一方的电极15 时，通过作为介电体起作用的放电容器11的壁，在放电空间S生成放 电，由此，形成准分子分子，而且产生从该准分子分子放射真空紫外 光的准分子放电。
在该准分子灯10中，为了有效地利用由准分子放电产生的真空紫外光，在暴露于放电容器11的放电空间S的表面上，形成有由二氧化 硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外线散射粒子所成的紫外线反射膜18。
紫外线反射膜18横跨对应于放电容器11的长边面12a的一方电极15 的内表面区域与连续于该区域的短边面13a、 13b及端面14a、 14b的内 表面区域而形成。并且，通过在对应于放电容器11的长边面12b的另 一方电极16的内表面区域不形成紫外线反射膜18，形成光出射部17。
图2是放大表示形成在图1 (b)所示的放电容器11的短边面13b 的紫外线反射膜18的一部分的局部放大剖面图。
垂直于放电容器11的管轴的剖面的长边面12a、 12b的长度是 40mm，短边面13a、 13b的长度是10mm。紫外线反射膜18如图1 (a)、 (b)所示，形成在对应于一方电极15的长边面12a的内表面区域整体， 及连续于该区域的两个短边面13a、 13b的内表面区域及两个端面14a、 14b的内表面区域整体。
在图2中，从紫外线反射膜18的边界前端a到距离a0.5mm的位 置b为止的反射膜形成开始区域19，紫外线反射膜18的膜厚倾斜直线 地变大。例如，在边界前端a，紫外线反射膜18的膜厚是Onm，但在 位置b，紫外线反射膜18的膜厚是5|am,形成为膜厚从位置b朝向长 边面12a逐渐变大。如果列举一个例子，则距离位置b lmm的位置c 的紫外线反射膜18的膜厚是10pm，距离位置b 2mm的位置d的膜厚 是15pm，距离位置b 3mm的位置e的膜厚是18pm。并且，长边面12a 的紫外线反射膜18的膜厚为30(im。并且，虽然未进行图示，在短边 面13a、端面14a、 14b也与短边面13b同样地形成紫外线反射膜18。
紫外线反射膜18由自身具有高折射率的具有真空紫外光透射性 的二氧化硅粒子及氧化铝粒子构成，到达紫外线散射粒子的真空紫外 光的一部分在粒子表面被反射，并且其它的一部分折射而入射至粒子 内部，进而入射到粒子内部的大部分光被透射(一部分被吸收)，再出射时被折射。紫外线反射膜18具有重复产生这种反射与折射的"扩 散反射(散反射)"的功能。并且，构成紫外线反射膜18的二氧化硅 粒子与氧化铝粒子由陶瓷构成，从而具有不产生不纯气体，又耐于放 电的特性。
紫外线反射膜18的剥落从形成有紫外线反射膜18的部分与未形 成的部分的边界产生。并且，紫外线反射膜18的膜厚薄的部分由于可 降低放电容器11与反射膜表面的温度差而可提高粘合性。因此，通过 将紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19的膜厚形成得较薄，可 提高与放电容器11的粘合性。
另一方面，紫外线反射膜18的反射特性与膜厚成比例地变动，因 而使紫外线反射膜18的膜厚较薄时，反射性能会降低。因此，为了确 保紫外线反射膜18的反射性能，必须使膜厚为一定值以上。因此，在 不发生紫外线反射膜18剥落的问题的反射膜形成开始区域19以外的 区域，使紫外线反射膜18的膜厚形成得较厚，确保反射性能，提高准 分子光的放射光量。其结果是，通过使紫外线反射膜18的反射膜形成 开始区域19的膜厚比反射膜形成开始区域19以外的部分的膜厚薄， 可提高与放电容器11的粘合性，在反射膜形成开始区域19以外的部 分，使紫外线反射膜18的膜厚形成得充分厚，确保反射性能，从而可 提高准分子灯10的准分子光的放射光量。
紫外线反射膜18由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成。用于紫外线 反射膜18的二氧化硅粒子例如使用将二氧化硅玻璃粉末状地制成细粒 子等。该二氧化硅粒子的粒子径被如下地定义例如在0.01 20pm的 范围内，优选中心粒径(数个平均粒子径的峰值)为例如0.1 10pm， 更优选为0.3 3(am。并且，优选紫外线反射膜18包含的二氧化硅粒子 的粒径分布不为较大范围，优选使用选择出的粒径为中心粒径的值的 二氧化硅粒子为半数以上的二氧化硅粒子。并且，用于紫外线反射膜18的氧化铝粒子的粒子径被如下地定
义例如在0.1 10pm的范围内，优选中心粒径(数个平均粒子径的 峰值)为例如0.1 3nm，更优选为0.3 lpm。并且，优选紫外线反射 膜18包含的氧化铝粒子的粒径分布不为较大范围，优选使用选择出的 粒径为中心粒径的值的氧化铝粒子为半数以上的氧化铝粒子。
一般来说，光照射到粒径较大的粒子会反射，但粒径小时，光照 射到粒子也不会反射，而产生散射。光的散射通过粒子的大小被分类 成3种，粒子径比波长小时，则产生瑞利(Rayleigh)散射，粒子径与 波长为相同程度时，则产生米氏散射(Mie scattering)，而粒子径比波 长大时，则产生非选择性散射。尤其是，瑞利散射具有被散射的光强 度取决于所入射的光的波长的特征。具体来说，入射光的波长短时， 散射光的强度变大，入射光的波长长时，散射光的强度变小。若在紫 外线反射膜18产生该瑞利散射，则可将紫外线或真空紫外线的波长短 的光变成光强度大的散射光。产生在准分子灯10的放电容器11内部 的光的波长在150nm 380nm的范围，因而通过使二氧化硅粒子与氧 化铝粒子的粒子径在0.01pm 20^mi的范围内，并使中心粒径为 0.3)am 3pm，可在紫外线反射膜18发生瑞利散射。另外，即使构成为 使二氧化硅粒子的粒子径为比上述范围更小而容易发生瑞利散射，会 使得二氧化硅粒子的烧结进一步进行而消灭晶界，相反地也失去光的 散射性能。
在紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19中，将二氧化硅粒 子的中心粒径设为A，将氧化铝粒子的中心粒径设为B时，优选满足 A/B<10的关系。通过使二氧化硅粒子的中心粒径为氧化铝粒子的中心 粒径的IO倍以下，使得二氧化硅粒子的每一粒子的重量比氧化铝粒子 的每一粒子的重量的一定重量还要小。结果，二氧化硅粒子与氧化铝 粒子相比较，比一定水准还小，且轻，由此，在紫外线反射膜18中， 氧化铝粒子容易沉在下面。在下述的紫外线反射膜18的制造方法中， 通过将放电容器11的长边面12a作为底面而保持水平姿势地进行干燥，使得轻的二氧化硅粒子停留在放电容器11的短边面13a、13b的内表面 区域及端面14a、 14b的内表面区域，使得重的氧化铝粒子容易积存在 长边面12a的内表面区域。
在此，对于构成紫外线反射膜18的粒子的粒子径与中心粒径加以 说明，构成紫外线反射膜18的紫外线散射粒子的"粒子径"是指，将 紫外线反射膜18在垂直于其表面的方向剖开时的剖面的厚度方向的大 致中间位置作为观察范围，通过扫描型电子显微镜(SEM)取得放大 投影图像，以一定方向的两条平行线夹着该放大投影图像的任意粒子 时该平行线的间隔即弗雷特(Feret)直径。
图3 (a) 、 (b)是表示通过扫描型电子显微镜(SEM)观察到的 粒子的放大投影图像的一例的图。如图3 (a)所示地，在大致球状的 粒子a及具有粉碎粒子形状的粒子b等的粒子单独存在时，用在一定 方向(例如紫外线反射膜18的厚度方向)上延伸的两条平行线夹着这 些粒子时该平行线的间隔即粒径DA、 DB为"粒子径"。并且，对于具 有出发材料的粒子熔融而接合的形状的粒子C，如图3 (b)所示地， 对于被判断为出发材料的粒子C1、 C2的部分的各该球状部分，用在一 定方向(例如紫外线反射膜18的厚度方向)上延伸的2条平行线夹持 时该平行线的间隔即DC1、 DC2为"粒子径"。
构成紫外线反射膜18的紫外线散射粒子的"中心粒径"是指，将 对于如上述所得到的各粒子的粒子径的最大值与最小值的粒子径的范 围，例如以0.1nm的范围分成多个区，例如区分成约15个区，属于各 个区的粒子个数(度数)称为最大的区的中心值。
并且， 一般来说，在准分子灯10中，公知产生等离子体，但等离 子体大致直角地入射于紫外线反射膜18而作用，因而紫外线反射膜18 的温度会局部急激上升。如果紫外线反射膜18仅由例如二氧化硅粒子 构成，则通过等离子体的热，二氧化硅粒子熔融，晶界消失，存在无法使真空紫外光扩散反射而降低反射率的情况。
对此，作为构成紫外线反射膜18的粒子，不仅有二氧化硅粒子， 也包括氧化铝粒子，从而即使在暴露于由等离子体所产生的热时，具 有比二氧化硅粒子还高的熔点的氧化铝粒子也不会熔融，因而防止相 邻的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的粒子之间的结合，晶界得以维持。
因此，即使长时间点灯时，也可以使真空紫外光有效地扩散反射，可 以实质上维持初始的反射率。因此，在长时间点灯时，也可保持紫外
线反射膜18的反射性能，为了维持准分子光的反射效率，优选紫外线 反射膜18包含的氧化铝浓度较高。
对于紫外线反射膜18与放电容器11的接合性，紫外线反射膜18 包括的二氧化硅粒子的一部分熔融等，从而紫外线反射膜18附着于放 电容器11。 一般来说，线膨胀系数的值相等或近似的材料具有容易接 合的性质。二氧化硅粒子的线膨胀系数的值与二氧化硅玻璃所成的放 电容器11的线膨胀系数的值相等，因而与放电容器11的接合力提高， 起到抑制紫外线反射膜18从放电容器11剥离的作用。
另一方面，氧化铝粒子的材质与放电容器11的材质不同，因而不 容易接合。并且，由于氧化铝粒子未熔融而作为粒子存在，因而散乱 且容易飞散。所以，为了防止紫外线反射膜18从放电容器11被剥落， 优选提高与放电容器11相同材质的二氧化硅浓度，紫外线反射膜18 包括的氧化铝浓度较低。因此，在容易发生紫外线反射膜18剥落的问 题的反射膜形成开始区域19中，通过构成为使紫外线反射膜18的氧 化铝浓度变低，从而提高与放电容器11的接合力，可解决紫外线反射 膜18的反射膜形成开始区域19从放电容器11剥落的问题。
并且，对于反射膜形成开始区域19以外的部分，通过相对地提高 紫外线反射膜18包含的氧化铝浓度，维持相邻的二氧化硅粒子与氧化 铝粒子的晶界，即使长时间点灯，也可维持准分子光的放射光量。使用图2来具体地加以说明，即使紫外线反射膜18整体的氧化铝
浓度是10wt%，反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度构成为2wt%， 可防止从放电容器11发生剥落。另一方面，距离位置blmm的位置c 的紫外线反射膜18的氧化铝浓度是8wt%，距离位置b 2mm的位置d 的氧化铝浓度是9wt%，距离位置b 3mm的位置e的氧化铝浓度是 11wt。/。，形成于长边面12a的紫外线反射膜18的氧化铝浓度为llwt%。 如此地在反射膜形成开始区域19以外的部分提高紫外线反射膜18的 氧化铝浓度，从而即使长时间点灯时，也可使真空紫外光有效率地扩 散反射，可实质上维持初始的反射率。
二氧化硅粒子及氧化铝粒子的制造可利用固相法、液相法、气相 法的任何方法，但其中，由于可确实地得到亚微细粒、微米尺寸的粒 子，因此优选气相法，尤其是化学气相沉积法(CVD)。具体来说， 例如二氧化硅粒子是通过使氯化硅与氧在卯0 100(TC反应，并且，氧 化铝粒子是通过使作为原料的氯化铝与氧在1000 120(TC加热反应， 来加以合成，而粒子径可以通过控制原料浓度、反应场的压力、反应 温度来调整。
紫外线反射膜18通过如下方式形成于放电容器11:首先，调和 流入放电容器11内的涂布液，通过例如被称为"流下法"的方法进行 调和的涂布液。涂布液中调和了 (1)紫外线散射粒子、(2)粘结剂、 (3)分散剂及(4)溶剂。
(1)紫外线散射粒子由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成。(2) 粘结材料含有正硅酸乙酯(tetraethyl orthosilicate)，由其产生的二氧 化硅提高熔融附着紫外线散射粒子之间或与紫外线散射粒子和二氧化 硅玻璃构成的放电容器的粘结力。(3)分散剂使用硅垸偶联剂，通过 含有硅垸偶联剂，将涂布液凝胶化而容易附着于放电容器形成材料， 而且可将涂布液中均匀分散的紫外线散射粒子定影。(4)溶剂使用乙醇，由此可调整涂布液的紫外线散射粒子的含有浓度。
接着，多次反复涂布已调和的涂布液，以使放电容器ll的反射膜 形成开始区域19的膜厚比反射膜形成开始区域19以外的部分的膜厚
薄，使紫外线反射膜18的膜厚为倾斜的构造。
图4是用以说明流入涂布液的状态的说明用剖面图。
制造顺序如下首先，(1)倾斜地固定放电容器11。(2)流入
涂布液，使之静止直到液面的摇晃或波纹停止为止。(3)保持放电容 器11的倾斜姿势的状态下，排出流入的涂布液，使之干燥。(4)干
燥后，变更先前的倾斜角度而加以固定(以使涂布液不会与反射膜形
成开始区域19溶合)。(5)再流入涂布液、进行排出、干燥。通过 重复该作业，在短边面13b的内表面区域，可形成具有反射膜形成开 始区域19的膜厚比反射膜形成开始区域19以外的部分的膜厚薄的倾 斜构造的紫外线反射膜18。在另一方的短边面13a的内表面区域也以 同样的方法形成紫外线反射膜18。最后，水平地固定放电容器11而流 入涂布液，在长边面12a的内表面区域形成紫外线反射膜18，而且与 先前的短边面13b的内表面区域同样地，在端面14a、 14b的内表面区 域形成紫外线反射膜18。
实验例1
在放电容器11的内表面区域形成紫外线反射膜18，对于紫外线 反射膜18的反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度与有无剥落的关系 进行调查。另外，在此，如图2所示地，紫外线反射膜18的位置b是 指距离紫外线反射膜18与短边面13b的边界前端a 0.5mm内侧的位置。
(1)准分子灯10的规格
(a)放电容器11:合成石英玻璃制，尺寸10X42X 150mm'厚 度18mm，(b)封入气体氤气体，30kPa，(c)电极15、 16:尺寸30X 100mm。
(2) 紫外线反射膜18的规格
(a)反射膜形成开始区域19的位置b的膜厚5pm， (b) 二氧化硅粒子中心粒径为0.3pm，粒径为中心粒径的粒子的比例为50%，(c)氧化铝粒子中心粒径0.4pm，粒径为中心粒径的粒子的比例为50%， (d)中心粒径并不是出发材料的中心粒径，而是在紫外线反射膜18中的中心粒径，使用日本日立制造的电场放出型扫描电子显微镜"S4100"，将加速电压设为20kV，将放大投影图像的观察倍率对于粒子径为0.05 lnm的粒子设为20000倍，而对于粒子径为1 10pm的粒子设为2000倍，来进行测量。
(3) 测定氧化铝浓度
紫外线反射膜18包含的氧化铝浓度可以使用电子显微镜与其附属的能量分散型X射线分析装置进行定量分析来求出。对图2所示的紫外线反射膜18的位置b，由放电空间侧，通过电子显微镜以数100 1000倍的倍率进行观测，同时进行使用能量分散型X射线分析装置的定量分析，求出紫外线反射膜18包含的二氧化硅的含有量与氧化铝的含有量。将氧化铝浓度(wt%)表示为氧化铝质量(氧化铝密度x含有量)/ (二氧化硅质量(二氧化硅密度x含有量)+氧化铝质量(氧化铝密度x含有量))xl00。
(4) 膜剥落耐久性
以6H笔芯的硬度(JIS规格)的铅笔碰触形成于二氧化硅玻璃构成的基材上的紫外线反射膜18的表面，并滑动10次。以眼睛确认是否发生紫外线反射膜18从基材的剥落。
将实验例1的结果表示于图5的表。
该图表示膜剥落相对于反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度(Wt%)的关系，将未剥落记为O，将剥落记为x。
如该图所示地，可知道如果紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度为10wty。以下，则可防止紫外线反射膜18与二氧化硅玻璃构成的基材的剥离。
实施例2
形成放电容器11的反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度为10wtn/。的紫外线反射膜18，对于紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19的膜厚与有无剥落的关系进行了调查。并且，反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度为10wtn/。的紫外线反射膜10，由实验例1的结果可知为可使用但最容易发生剥落的条件。并且，紫外线反射膜的反射膜形成开始区域19及准分子灯的规格与实验例1同样。
(1) 紫外线反射膜18的规格
(a)紫外线反射膜的反射膜形成开始区域19的氧化铝浓度10wt%，(b) 二氧化硅粒子中心粒径0.3|am，粒径为中心粒径的粒子的比例为50%，(c)氧化铝粒子中心粒径0.4pm，粒径为中心粒径的粒子的比例为50%。
(2) 膜厚的测定
通过以显微镜放大观看形成有紫外线反射膜18的放电容器11的剖面，测定图2所示的紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19的位置b的膜厚。通过考虑放大画像状的紫外线反射膜18的膜厚长度与放大率，可知实际的紫外线反射膜18的膜厚。显微镜使用吉恩土 (々一二>》)制造的数字显微镜。紫外线反射膜的膜厚的偏差所致的数值误差是±8%。
(3) 膜剥落的耐久性
将6H笔芯的硬度(JIS规格)的铅笔碰触形成于二氧化硅玻璃构成的基材上的紫外线反射膜18的表面，并滑动10次。以眼睛确认是
否产生紫外线反射膜18从基材的剥落。将未剥落记为O，将剥落记为将实验例2的结果表示于图6的表。
该图是表示膜剥落相对于反射膜形成开始区域19的膜厚(pm)的关系，将未剥落记为O，将剥落记为x。
如该图所示地，可知如果紫外线反射膜18的反射膜形成开始区域19的位置b的膜厚为21pm以下，可防止紫外线反射膜18与二氧化硅玻璃构成的基材的剥离。
权利要求
1.一种准分子灯，具备具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于在暴露于上述放电容器的放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，上述放电容器的上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚比该反射膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄。
2. 根据权利要求l所述的准分子灯，其特征在于，上述紫外线反 射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度，比上述反射膜形成开始区 域以外的部分的氧化铝浓度小。
3. 根据权利要求2所述的准分子灯，其特征在于，上述紫外线反 射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度是10wtM以下。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的准分子灯，其特征在于， 上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚为21pm以下。
5. 根据权利要求l所述的准分子灯，其特征在于，将上述紫外线 反射膜的反射膜形成开始区域的上述二氧化硅粒子的中心粒径设为A， 将上述氧化铝粒子的中心粒径设为B时，满足A/B<10的关系。
全文摘要
本发明提供一种准分子灯，防止紫外线反射膜的反射膜形成开始区域从放电容器剥落，可长时间地维持准分子光的放射光量。该准分子灯(10)具备具有放电空间(S)的由二氧化硅玻璃构成的放电容器(11)，在介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极(15、16)，而且在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(11)的放电空间(S)内发生准分子放电，在暴露于放电容器(11)的放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子所形成的紫外线反射膜(18)，紫外线反射膜(18)的反射膜形成开始区域(19)的膜厚比反射膜形成开始区域(19)以外的部分的膜厚薄。
文档编号H01J65/00GK101515536SQ20091000788
公开日2009年8月26日 申请日期2009年2月20日 优先权日2008年2月21日
发明者森本幸裕, 藤泽繁树 申请人:优志旺电机株式会社