专利名称:360kV高频高压倍加器均压结构的利记博彩app
技术领域:
本发明涉及一种高频高压倍加器的均压结构,特别涉及一种应用于高能离子注入 机中的360kv直流无油高压倍加器的均压结构。属半导体设备领域。
背景技术:
集成电路制造技术的飞速发展,对各半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注 入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一,也提出了更高的要求,尤其是在束流指 标、束能纯度、节深控制、注入均匀性与生产效率等方面均受到严峻挑战。
为了达到工艺要求的能量指标,特别是高能注入,我们为新研制的高能注入机设 计了一种新型的360kv直流无油高压倍加器。这可以给加速管两级提供360kv的直流高压, 使离子在加速场中获得足够的能量。这相较于之前200kv的倍加器设计,对倍加器空间电 场的控制提出了更高的要求。在360kv空间电场下,不均匀的电场分布,会引起局部电场过 高,击穿空气,引起放电打火。这种现象严重影响注入指标,损害设备寿命,在注入生产过程 中是不能被允许的。所以我们针对360kv直流无油高压倍加器设计了这种9级均压结构。 它可以均匀分布360kv的直流空间电场,有效抑制倍加器空间放电现象。
发明内容
为了解决上述存在的问题,本发明的目的是提供一种结构简单,安装方便的直流 高压倍加器的均压结构。 本发明的技术方案是这样实现的,该均压结构,包括上金属圆盘,下金属圆盘,9级 均压环,9对双球固定螺栓。其中高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上,在 上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环,各均压环分别用绝缘绑固定在倍加器电路板上。 在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔,通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整 流板上。 所述均压环采用纯铝材料,横截面为圆形,表面光滑平整无毛刺。
所述均压环上螺孔为穿孔,前后孔面为沉孔设计。 所述的双球状固定螺栓为外侧球带栓穿过均压环,出头,内侧球打螺孔,压紧引 线与外侧球连接固定。内外球表面光滑平整无毛刺,与均压环沉孔相切,平滑连接。
与之前采用的均压结构相比,本发明的有益效果是
1、结构简单,装配方便。 2、能应用于360kv高压倍加器上,实现空间电场的分布均匀,有效抑制倍加器的 空间放电现象,在大气中,可使倍加器可无影响输出360KV以上的高压。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述,但不作为对本发明的限 定。
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如
图1-2所示, 一种360kv无油直流高压倍加器的均压结构
1.电路板支撑杆
2.倍加器功能电路板
3.铝质均压环
4.绝缘绑带
5.连接导线 其中,倍加器功能电路板2通过电路板支撑杆1固定连接,倍加器功能电路板2和 倍压整流板7两端分别用螺钉固定在上金属圆盘8和下金属圆盘9上。9级铝质均压环3 在上金属圆盘8和下金属圆盘9之间均匀分布,通过绝缘绑带4固定在倍加器功能电路板2 和倍压整流板7上。在每级铝质均压环3正对倍压整流板7的正中打螺孔,通过双球状固 定螺栓栓6固定引出连接导线5接到倍压整流板7上。铝质均压环3和双球状固定螺栓6 表面及连接处都保证光滑平整,无毛剌。 这样的无油直流高压倍加器的均压结构,能够保证360kv直流高压电场的均匀分 布,有效抑制了高压倍加器的空间放电现象,可使倍加器稳定输出大于360kv的直流电压。 并且本结构设计简单,装配方便。 本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而 言,在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动,都构成对本发明专利 的侵犯,将承担相应的法律责任。
6. 双球状固定螺栓
7. 倍压整流板
8. 上金属圆盘
9. 下金属圆盘
权利要求
一种应用于360kv高压倍加器的均压结构,包括9级均压环,9对球状固定栓,上金属圆盘和下金属圆盘。高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上,在上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环,各均压环分别用绝缘绑带固定在倍加器电路板上。在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔,通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整流板上。
2. 根据权利要求1所述的一种应用于360kv高压倍加器的均压结构,其特征所述均 压环为纯铝材料,横截面为圆形,表面光滑平整无毛刺。
3. 根据权利要求2所述的铝质材料均压环,其螺孔特征为穿孔,前后孔面为沉孔设计。
4. 根据权力要求1所述的双球状固定螺栓,其特征为外侧球带栓穿过均压环,出头, 内侧球打螺孔,压紧引线与外侧球连接固定。内外球表面光滑平整无毛刺,与均压环沉孔相 切,平滑连接。
全文摘要
本发明公开了一种应用于360kv高压倍加器的均压结构,包括9级均压环,9对球状固定栓,上金属圆盘和下金属圆盘。高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上,在上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环,各均压环分别用绝缘绑带固定在倍加器电路板上。在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔,通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整流板上。本发明针对新型无油设计的高压倍加器,设计简洁,装配简单。有效实现均匀分配高压倍加器两端360kv的高压,有效抑制了倍加器由于不均匀高压分布引起的空间放电现象。
文档编号H01J37/317GK101728202SQ200810224639
公开日2010年6月9日 申请日期2008年10月22日 优先权日2008年10月22日
发明者伍三忠, 刘仁杰, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司