专利名称：Al膜电极缺陷检测装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种等离子电视，尤其是一种等离子电视中铝膜电极 缺陷检测装置，具体地说是一种铝膜电极检测装置。
背景技术：
交流等离子体显示板通常由前后基板封接后充入预定的工作气体，譬 如各种惰性气体形成可显示的显示板，或由前后基板、荫罩充当障壁组装 封接后充入惰性气体形成可显示的显示板。对于障壁型交流等离子体显示 板，前基板结构，从玻璃基板起，有透明导电电极(IT0)做为显示电极， IT0电极之上是Bus电极，Bus电极通常由银(Ag)电极构成，Bus电极之 上是介质层，介质层由绝缘透明介质材料经过高温烧结而成；后基板结构， 从玻璃基板起，分别是寻址电极，通常由Ag电极构成，寻址电极之上是绝 缘介质层，该介质层由高温烧结而成，介质层之上是障壁阵列。对于荫罩 式交流等离子体显示板，前基板结构，从玻璃基板起，有透明导电电极(ITO) 做为显示电极，ITO电极之上是Bus电极，Bus电极通常由银(Ag)电极构 成,Biis电极之上是介质层，介质层由绝缘透明介质材料经过高温烧结而成; 后基板结构，从玻璃基板起，分别是寻址电极，通常由Ag电极构成，寻址 电极之上是绝缘介质层，该介质层由高温烧结而成，障壁由荫罩替代，三 部分组装封接而成。对于目前常用的上述两类交流等离子体显示板，采用 没有IT0膜结构，前基板的Bus电极和后基板寻址电极可采用铝膜(Al) 电极制成。
对于Al电极的显示板，A1电极在采用光刻技术制程中，由于工艺条件、 工艺环境及工艺材料等原因，会产生A1电极的缺陷，具体表现为Al电极 完全断线、不完全断线，Al电极间连线。所有这些缺陷都将影响显示板的 正常工作。对于A1电极间连线的缺陷，只需采用激光切断即可，没有特殊
性，其方法不在本实用新型之列。对于A1电极的断线缺陷修补具有一定特 殊性，原因之一，Al膜在后续的高温工序中极易氧化，使在A1膜表面与修 补料界面形成AL03绝缘层，造成修补失败，原因之二，铝膜微粒修补材料 在空气中极易氧化，不能单独使用，必须和银、金等稳定的微粒材料混合 使用，由于A1膜电极与修补材料的热膨胀系数差异较大，导致修补失败。 发明内容
本实用新型的目的是针对Al膜电极缺陷的检测及现有Al膜电极修补 的问题，提出一种基于光学透过率对Al膜电极缺陷检测装置。 本实用新型的技术方案是
一种Al膜电极缺陷检测装置，其特征是它由安装玻璃基板2的检测台 10、支架7、控制系统8、检测头6及背光光源18组成，背光光源安装在 检测台10的下部、玻璃基板2的下部，支架7位于检测台10的上方，检 测头6 (可采用CCD成像传感器和/或光敏元件加以实现)活动安装在滑杆 19上并能沿滑杆19作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统8相连， 滑杆19活动支承在支架7上并能沿支架7作Y方向的前后移动。
本实用新型的Al膜电极断线的修补方法为选择含有Ag粒子或Ag、 Al粒子共存的低温玻璃粉修补浆料17，在控制系统的指令下，通过修补机 将修补浆料17送至完全断线14或不完全断线15处修补连通，然后进行预 烘(烘制温度由修补浆料特性决定，通常在110 160。C，预烘时间为20秒 10分钟)，预烘结束后再用修补机的激光切割头将修补处节割成与原电极形 状相近的形状，再转入下一道介质层制备工序中，在带有经过预烘的修补 浆料17表面及其它正常的Al膜电极表面制备一层介质层4，再经过高温烘 烤工序(烘烤温度由介质层烧结温度决定，通常为560 580C,高温保持时 间为10 30分钟)，将修补衆料17与介质层4共同烧结最终形成完好的修 补点及绝缘介质层5。
本实用新型的有益效果
1、本实用新型的Al膜电极缺陷的检测方法具有耗时短，检测结果准 确的优点，适合量产中使用。2、 本实用新型的A1膜电极缺陷的修补方法，有效地克服了A1膜与修 补料在界面产生的绝缘层的影响，使Al膜电极修补后在高温工艺后具有可 靠性，使用与以A1膜为电极结构的等离子体显示板。
3、 本实用新型的检测装置结构简单，制造方便，简单实用。
图1是为本实用新型具有Al膜电极图案的基板示意图。
图2是为本实用新型的Al膜电极图案缺陷检测装置的示意图。
图3为本实用新型的用掩模正片检测Al膜电极图案连线缺陷的示意图。
图4为本实用新型的用掩模负片检测Al膜电极图案断线缺陷的示意图。
图5是Al膜电极图案断线缺陷种类示意图。 图6为本实用新型的Al膜电极图案断线缺陷修补步骤示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。 实施例一。 如图2所示。
一种Al膜电极缺陷检测装置，它由安装玻璃基板2的检测台10、支架 7、控制系统8、检测头6及背光光源18组成，背光光源安装在检测台10 的下部、玻璃基板2的下部，支架7位于检测台IO的上方，检测头6 (可 采用CCD成像传感器和/或光敏元件加以实现)活动安装在滑杆19上并能 沿滑杆19作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统8相连，滑杆19 活动支承在支架7上并能沿支架7作Y方向的前后移动。
对于没有IT0膜结构的等离子体显示板的基板1，按照制造过程，与 Al膜电极相关的工序有包括玻璃基板2、通过光刻技术将蒸镀在玻璃基 板的Al膜制成Al膜电极图案3、在Al膜电极上面制成一层绝缘的介质层 4，再经过高温烧结而成绝缘介质层5，如图1所示。用于检测Al膜电极在 制程中产生的连线缺陷的检测装置主要由安装玻璃基板2的检测台10、支
架7、控制系统8、检测头6及背光光源18组成，背光光源安装在检测台 10的下部、玻璃基板2的下部，支架7位于检测台10的上方，检测头6 (可 采用CCD成像传感器和/或光敏元件加以实现)活动安装在滑杆19上并能 沿滑杆19作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统8相连，滑杆19 活动支承在支架7上并能沿支架7作Y方向的前后移动。其中的检测头包 括CCD摄像头及光强探头，支架7可供检测头6作X、 Y方向步进行走，控 制系统8为包含光强比对判定程序、缺陷位置记录程序、控制修补机使用 激光切断程序、控制修补机修补程序等软件的计算机系统，见图2。检测连 线缺陷方法的是将Al膜电极掩模版的正片9与基板1的Al膜电极图案3 以对位标志重合的方式放置于带有背光的检测台10上，使Al膜电极图案 与间隙的透光性质与掩模正片正好相同，如图3所示，在控制系统8作用 下，检测头6在X、 Y方向以适当的光斑对所检测的基板进行扫描检测，当 测得的位置上的光强低于事先测定的没有连线的光强标准值，表明该区域 有连线缺陷ll使透光率下降，系统给出提示，通过CCD进一步确定是否为 连线缺陷11，从而在控制系统中记录连线的位置，为后道的切断修补程序 提供指令。
检测断线缺陷的方法是将Al膜电极掩模版的负片12与基板1的Al膜 电极图案3以对位标志重合的方式放置于带有背光的检测台10上，使Al 膜电极图案与间隙的透光性质与掩模负片正好相反，见图4,在控制系统8 作用下，检测头6在X、 Y方向以适当的光斑对所检测的基板进行扫描检测， 当测得的位置上的光强高于事先测定的没有断线线的光强标准值，表明该 区域有断线缺陷使透光率增大，系统给出提示，通过CCD进一步确定是否 为完全断线14、不完全断线15和不影响显示效果而不需要修补的不完全连 线16等信息，断线缺陷类型如图5所示，从而在控制系统中记录断线的位 置，为后道的切断修补程序提供指令。
修补Al膜电极图案3的完全断线14或不完全断线15的方法是，选择 含有Ag粒子或Ag、 Al粒子共存的低温玻璃粉浆料17，在控制系统的指令 下，通过修补机将修补浆料17将完全断线14或不完全断线15修补连通，
设定140 160°C,时间20 50S，及340 480。C，时间20 50S的两道预 烘工艺，再用修补机的激光切割成与原电极形状相近的形状，转入下一道 工序，介质层的制备，即在带有经过预烘的修补浆料17表面及其它正常的 Al膜电极表面制备了一层介质层4，经过介质层所需高温工序，580°C烧结， 高温保持时间为10 30分钟，将修补浆料17与介质层4共同烧结，形成 完好的修补点及绝缘介质层5,修补方法的步骤如图6所示。 实施例二。
在上述实施例一中，检测出A1膜断线缺陷后，采用修补料17将完全 断线14或不完全断线15修补连通，设定140 160°C，时间20 50S，进 行第一道预烘，对修补点采用施加压力，压强范围在2 50Par,再经过第二 道预烘，其它步骤如实施例一所示，构成了实施例二。
实施例三。
在上述实施例一中，在完成A1膜断线缺陷修补、预烘和整形后，进行 介质层的制备，即在带有经过预烘的修补浆料17表面及其它正常的Al膜 电极表面制备了一层介质层4，在对介质层进行高温烧结时，对烧结箱体通 入惰性气体保护，如高纯氮气，将修补浆料17与介质层4在氮气气氛中共 同烧结，形成完好的修补点及绝缘介质层5。
本实施例仅给出了部分具体的应用例子，但对于从事平板显示器的专 利人员而言，还可根据以上启示设计出多种变形产品，这仍被认为涵盖于 本实用新型之中。
权利要求1、一种Al膜电极缺陷检测装置，其特征是它由安装玻璃基板(2)的检测台(10)、支架(7)、控制系统(8)、检测头(6)及背光光源(18)组成，背光光源安装在检测台(10)的下部、玻璃基板(2)的下部，支架(7)位于检测台(10)的上方，检测头(6)活动安装在滑杆(19)上并能沿滑杆(19)作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统(8)相连，滑杆(19)活动支承在支架(7)上并能沿支架(7)作Y方向的前后移动。
专利摘要一种Al膜电极缺陷检测装置，属于平板电视技术领域，其特征是它由安装玻璃基板(2)的检测台(10)、支架(7)、控制系统(8)、检测头(6)及背光光源(18)组成，背光光源安装在检测台(10)的下部、玻璃基板(2)的下部，支架(7)位于检测台(10)的上方，检测头(6)活动安装在滑杆(19)上并能沿滑杆(19)作X方向的左右移动，它通过连接线与控制系统(8)相连，滑杆(19)活动支承在支架(7)上并能沿支架(7)作Y方向的前后移动。本实用新型具有结构简单，制造方便，简单实用，耗时短，检测结果准确的优点。
文档编号H01J9/42GK201060837SQ200720036018
公开日2008年5月14日 申请日期2007年4月26日 优先权日2007年4月26日
发明者雄 张, 朱立锋, 青 李, 林青园, 王保平 申请人:南京华显高科有限公司