波长选择滤光器及光照射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及层叠了多个膜的波长选择滤光器及光照射装置。
【背景技术】
[0002]以往，树脂或粘接剂等的光固化使用了采用水银灯或金属卤化物灯的光照射装置。水银灯或金属卤化物灯所发出的光除了用于使树脂或粘接剂固化所需的波长的光之夕卜，还发出对照射对象物造成一些损害的不需要的波长的光，因此在光照射装置中使用波长选择滤光器。作为波长选择滤光器，代表性的是使用了用金属着色的有色玻璃的波长选择滤光器，但由于来自灯的紫外线的影响而产生暴晒，透射率降低。对此，可考虑使用在透明基板上层叠了电介质多层膜的波长选择滤光器，但由电介质多层膜构成的波长选择滤光器在透射特性方面具有入射角度依赖性，光的入射角度越大，透射波长域越向短波长侧偏移。
[0003]于是，已知如下技术，其通过使用由在透明基板上交替层叠了高折射率材料的层和折射率比它稍低的材料的层的电介质多层膜构成的波长选择滤光器，从而在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量(例如，参照专利文献I)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献I
[0007]日本特开2008 - 20563号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]然而，在上述的现有的结构中，存在若想要减小波长偏移量则膜整体的层数大幅度增多的问题。
[0010]本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种波长选择滤光器及光照射装置，其能够抑制膜数的大幅度的增加，并且在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。
[0011]用于解决问题的技术方案
[0012]为了达到上述目的，本发明的波长选择滤光器的特征在于，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，所述第一及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，所述第二及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，所述第一折射率与所述第三折射率不同，所述第二折射率与所述第四折射率不同。
[0013]在上述结构中，所述第一层叠体和所述第二层叠体也可以分别形成在所述透明基板的不同的面上。
[0014]在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为波长偏移量成为规定值以下的值。
[0015]在上述结构中，也可以是，所述第一层叠体构成窄带通型滤光器，所述第二层叠体构成宽带通型滤光器。
[0016]在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为0.1?
0.6ο
[0017]在上述结构中，也可以对于波长500nm的光，透明基板的折射率为1.45?1.53，第一折射率为2.26?2.40，第二折射率为1.38?1.50，第三折射率为2.42?2.70，第四折射率为1.58?2.00。
[0018]在上述结构中，也可以第一折射率材料和/或第三折射率材料与所述透明基板邻接。
[0019]在上述结构中，也可以将所述第一层叠体和所述第二层叠体层叠在所述透明基板的一面或双面上，在所述第一层叠体与所述第二层叠体的邻接部，所述第一折射率材料与所述第四折射率材料相邻，或者所述第二折射率材料与所述第三折射率材料相邻。
[0020]在上述结构中，也可以将所述第四折射率设为大于所述第二折射率，将所述第三折射率设为大于所述第一折射率，所述第一层叠体通过自透明基板起依次层叠第二电介质多层膜、第一电介质多层膜而构成，所述第二层叠体通过自透明基板起依次层叠第三电介质多层膜、第四电介质多层膜而构成。
[0021]本发明的光照射装置的特征在于，在框体内收纳光源，在所述框体的光射出开口设有上述波长选择滤光器。
[0022]发明效果
[0023]根据本发明，能够抑制膜数的大幅度的增加，并且在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。
【附图说明】
[0024]图1是表示本发明的实施方式涉及的紫外线照射装置的概略结构的立体图。
[0025]图2是表示紫外线照射装置的概略结构的主视图。
[0026]图3是示意地表示波长选择滤光器的图。
[0027]图4是表示波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0028]图5是表示波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0029]图6是表示波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示本实施方式的波长选择滤光器的情况，(B)表示现有的波长选择滤光器的情况。
[0030]图7是表示波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示在透明基板的双面上分别形成有NBP型及BBP型的层叠体的情况，(B)表示在透明基板的一个面上形成有NBP型的层叠体的情况，(C)表示在透明基板的一个面上形成有BBP型的层叠体的情况。
[0031]图8是表示以与图4的例子相反的顺序形成有波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0032]图9是表示以与图4的例子相反的顺序形成有波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0033]图10是表示以与图4的例子相反的顺序形成有多层膜的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0034]图11是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0035]图12是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0036]图13是图12的继续部分。
[0037]图14是表示将高折射率材料设为一种的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0038]图15是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0039]图16是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0040]图17是表示将低折射率材料设为一种的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0041]图18是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0042]图19是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0043]图20是表示将折射率差设为0.2555的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0044]图21是表示将折射率差设为0.3125的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0045]图22是表示将折射率差设为0.3125的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0046]图23是将折射率差设为0.3125的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0047]图24是表示将折射率差设为0.4125的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0048]图25是表示将折射率差设为0.4125的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0049]图26是表示将折射率差设为0.4125的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，(A)表示双面膜形成的情况，(B)表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0050]图27是表示仅由1102与中间折射率材料的一对形成的波长选择滤光器的NBP型的层叠体的结构的表格。
[0051]图28是表示仅由1102与中间折射率材料的一对形成的波长选择滤光器的BBP型的层叠体的结构的表格。
[0052]图29是表示仅由1102与中间折射率材料的一对形成的波长选择滤光器的分光透射率的曲线图，㈧表示双面膜形成的情况，⑶表示仅有NBP的单面膜形成的情况，(C)表示仅有BBP的单面膜形成的情况。
[0053]附图标记说明
[0054]1:紫外线照射装置(光照射装置)，4:波长选择滤光器，21:透明基板，22:第一高折射率材料(第一折射率材料)，23:第一低折射率材料(第二折射率材料)，24:第二高折射率材料(第三折射率材料)，25:第二低折射率材料(第四折射率材料)，G1:第一电介质多层膜，G2:第二电介质多层膜，G3:第一电介质多层膜，G4:第二电介质多层膜，L1:窄带通型的第一层叠体，L2:宽带通型的第二层叠体，nH1:第一折射率(第一高折射率)，n u:第二折射率(第一低折射率)，nH2:第三折射率(第二高折射率)，η Μ:第四折射率(第二低折射率
【具体实施方式】
[0055]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0056]图1是表示本实施方式涉及的紫外线照射装置I的概略结构的立体图，图2是表示紫外线照射装置I的概略结构的主视图。
[0057]如这些图所示，紫外线照射装置I具备:对正下方的工件2照射紫外线的至少一个(在本实施方式中为三个)照射器