感光性树脂组合物的利记博彩app

文档序号:8429932阅读:112来源:国知局
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【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的图案(pattern)形成 方法、使用在该感光性树脂组合物中包含遮光剂作为着色剂的感光性树脂组合物而形成的 黑矩阵(black matrix)、和具备该黑矩阵的显示装置。
【背景技术】
[0002] 使用感光性树脂组合物而形成的图案被利用在以液晶显示装置这样的显示装置 为代表的各种电气、电子设备中。例如,在显示装置用的面板中,作为构成滤色器的黑矩阵、 RGB的亚像素、黑色柱状间隔件,使用了使用感光性树脂组合物而形成的图案。
[0003] 作为用于这种用途的感光性树脂组合物,例如,已知包含特定结构的碱可溶性树 月旨、光聚合引发剂、光聚合性单体、和着色剂的感光性树脂组合物(专利文献1)。
[0004] 现有专利文献 [0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :日本特开2006-079064号公报

【发明内容】

[0007] 发明要解决的课题
[0008] 对于以显示装置为代表的电气、电子设备中使用的、使用感光性树脂组合物而形 成的图案而言,出于提高设备的动作的可靠性的目的,要求对基板的密合性的提高、可经受 在高温高湿条件下使用的耐水性的提高。专利文献1中记载的使用感光性树脂组合物而形 成的图案,虽然对基板的密合性、耐水性在某种程度上较为优异,但要求这些特性的进一步 提尚。
[0009] 本发明鉴于上述课题而完成,其目的在于提供可形成对基板的密合性和耐水性优 异的图案的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用在该感光 性树脂组合物中包含遮光剂作为着色剂的感光性树脂组合物而形成的黑矩阵、和具备该黑 矩阵的显示装置。
[0010] 用于解决课题的方法
[0011] 本发明人为了解决上述课题而进行了深入研宄。结果发现,通过在含有(A)碱可 溶性树脂、(B)光聚合性单体、及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物中配合特定结构的 (D)硅烷偶联剂,从而可以解决上述课题,从而完成本发明。具体而言,本发明提供以下方 案。
[0012] 本发明的第一方式为感光性树脂组合物,其包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性 单体、(C)光聚合引发剂和(D)硅烷偶联剂,
[0013] (D)硅烷偶联剂是以下述式(1)表示的化合物。
[0014] R^^Si-R^NH-CW-Y-R^X ? ? ? (1)
[0015] (式⑴中,R1为烷氧基,R 2为烷基,m为1~3的整数,R 3为亚烷基,Y 为-NH-、-0-或-S-,R4为单键或亚烷基,X为具有或不具有取代基的、单环或多环的含氮杂 芳基,X中的与-Y-R4-键合的环为含氮6元芳香环,-Y-R4-与所述含氮6元芳香环中的碳 原子键合。)
[0016] 本发明的第二方式为图案的形成方法,其包含:
[0017] 将第一方式所涉及的感光性树脂组合物涂布在基板上而形成涂布膜的工序;
[0018] 位置选择性地对该涂布膜进行曝光的工序;和
[0019] 使曝光后的涂布膜显影的工序。
[0020] 本发明的第三方式为黑矩阵,其是使用在第一方式所涉及的感光性树脂组合物中 包含遮光剂作为着色剂的感光性树脂组合物而形成的。
[0021] 本发明的第四方式为显示装置,其具备第三方式所涉及的黑矩阵。
[0022] 发明效果
[0023] 根据本发明,可以提供能够形成对基板的密合性和耐水性优异的图案的感光性树 脂组合物、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用在该感光性树脂组合物中包含 遮光剂作为着色剂的感光性树脂组合物而形成的黑矩阵、具备该黑矩阵的显示装置。
【具体实施方式】
[0024]《感光性树脂组合物》
[0025] 本发明所涉及的感光性树脂组合物包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性单体、 (C)光聚合引发剂、和特定结构的⑶硅烷偶联剂。以下,对本发明所涉及的感光性树脂组 合物所包含的必须成分或任意成分依次进行说明。
[0026] <(A)碱可溶性树脂>
[0027] (A)碱可溶性树脂(以下,也称为" (A)成分"。)是指,利用树脂浓度20质量%的 树脂溶液(溶剂:丙二醇单甲基醚乙酸酯)在基板上形成膜厚1 um的树脂膜、再将其在浓 度0. 05质量%的KOH水溶液中浸渍1分钟时,膜厚溶解0. 01 ym以上的树脂。
[0028] (A)碱可溶性树脂只要是显示出上述碱可溶性的树脂,则没有特别限定,可以从以 往公知的树脂中适当选择使用。作为适合作为(A)碱可溶性树脂的树脂,可举出(A1)具有 CARDO结构(力;1/卜'、構造)的树脂。
[0029] 作为(A1)具有CARDO结构的树脂,没有特别限定,可以使用以往公知的树脂。其 中,优选下述式(a_l)所表示的树脂。
[0030]【化1】
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物,其包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性单体、(C)光聚合 引发剂和(D)硅烷偶联剂, 所述(D)硅烷偶联剂是以下述式(1)表示的化合物, R1mR2(3-m)Si-R3-NH-C (O)-Y-R4-X ? ? ? (1) 式(1)中,R1为烷氧基,R2为烷基,m为1~3的整数,R 3为亚烷基,Y为-NH-、-〇-或-S-, R4为单键或亚烷基,X为具有或不具有取代基的、单环或多环的含氮杂芳基,X中的 与-Y-R4-键合的环为含氮6元芳香环,-Y-R 4-与所述含氮6元芳香环中的碳原子键合。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其还含有(E)着色剂。
3. 根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,所述(E)着色剂为遮光剂。
4. 一种图案的形成方法,其包含: 将权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物涂布在基板上而形成涂布膜的工 序; 位置选择性地对所述涂布膜进行曝光的工序;和 使曝光后的所述涂布膜显影的工序。
5. -种黑矩阵,其是使用权利要求3所述的感光性树脂组合物而形成的。
6. -种显示装置,其具备权利要求5所述的黑矩阵。
【专利摘要】本发明提供能够形成对基板的密合性和耐水性优异的图案的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用在该感光性树脂组合物中包含遮光剂作为着色剂的感光性树脂组合物而形成的黑矩阵、和具备该黑矩阵的显示装置。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性单体、及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物中配合特定的结构的(D)硅烷偶联剂。
【IPC分类】G03F7-027, G03F7-004
【公开号】CN104749884
【申请号】CN201410818315
【发明人】石川达郎, 黑子麻祐美, 盐田大
【申请人】东京应化工业株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月24日
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