感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机el显示装置及液晶显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物（以下有时仅称为"本发明的组合物")。另外， 还涉及一种使用上述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、将感光性组合物硬化而成的 硬化膜、使用上述硬化膜的各种图像显示装置。
[0002] 更详细而言，涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光 (electroluminescence, EL)显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等电子零件的平坦化 膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物以及使用其的硬化膜的制造方法。
【背景技术】
[0003] 在有机EL显示装置、或液晶显示装置等中设置有形成有图案的层间绝缘膜。为了 形成该层间绝缘膜，就用于获得所必需的图案形状的步骤数少，而且获得充分的平坦性等 而言，广泛使用感光性树脂组合物。感光性树脂组合物例如已知专利文献1中记载的。
[0004] 另外，光致抗蚀剂用途中，作为感光性树脂组合物还已知专利文献2中记载者。 [0005][现有技术文献]
[0006] [专利文献]
[0007] [专利文献1]日本专利特开2011-209681号公报
[0008] [专利文献2]日本专利特开2000-66406号公报
【发明内容】
[0009] 发明要解决的课题
[0010] 此处，感光性树脂组合物要求具有一定水平的感度，另一方面，也正在要求提高显 影时的密接性以及耐化学品性。本申请发明是以解决上述课题为目的，目的为提供一种不 仅维持高感度，而且显影时的密接性以及耐化学品性优异的感光性树脂组合物。
[0011] 进而，目的为提供一种使用此种感光性树脂组合物的硬化膜的形成方法、硬化膜、 有机EL显示装置、以及液晶显示装置。
[0012] 解决问题的技术手段
[0013] 基于上述状况而发现，通过在包含包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成 单元的聚合物的组合物中，以一定的比例调配易溶于特定碱溶液中的聚合物，令人惊讶的 是，不仅可维持感度，而且可提高显影时的密接性以及耐化学品性，从而完成本发明。
[0014] 具体而言，通过以下的解决手段〈1>，优选为通过〈2>~〈11>，来解决上述课题。
[0015] 〈1> 一种感光性树脂组合物，其含有：
[0016] (A)包含满足下述（1)及（2)中至少一者的聚合物、以及下述（S)聚合物的聚合物 成分：
[0017] (1)包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及（a2)具有交联 性基的构成单元的聚合物，
[0018] (2)包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括 (a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，及
[0019] (S)重均分子量为1000~50000,而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；
[0020] (B)光酸产生剂；以及
[0021] (C)溶剂；并且
[0022] 上述⑶聚合物的由式⑴所表示的值为50~3000 :
[0023] 式⑴
[0024] (S)聚合物的固体酸值（单位：mgK0H/g) X相对于感光性树脂组合物中的所有固 体成分的（S)聚合物的含有率（单位：质量％ )·· (1)。
[0025] 〈2>根据〈1>所述的感光性树脂组合物，其中相对于所有固体成分，⑶聚合物的 含量为〇. 5质量％~20. 0质量％。
[0026] 〈3>根据〈1>或〈2>所述的感光性树脂组合物，其中（S)聚合物为包括下述构成单 元A组群的至少一者的聚合物：
[0027] 构成单元A组群
[0028] [化 1]
[0029]
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物，其含有： (A) 包含满足下述（1)及下述（2)的至少一个的聚合物、以及下述（S)聚合物的聚合物 成分， (1) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及（a2)具有交联性基 的构成单元的聚合物， (2) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括（a2) 具有交联性基的构成单元的聚合物， (S)重均分子量为1000~50000,而且包括包含羧基的构成单元的聚合物； (B) 光酸产生剂；以及 (C) 溶剂，并且 所述⑶聚合物的由式⑴所表示的值为50~3000 : 式⑴ (S)聚合物的固体酸值（单位：mgKOH/g) X相对于感光性树脂组合物中的所有固体成 分的⑶聚合物的含有率（单位：质量％ ).. (1)。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中相对于所有固体成分，（S)聚合物的 含量为〇. 5质量％~20. 0质量％。
3. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中（S)聚合物为包括下述构成单 元A组群的至少一个的聚合物： 构成单元A组群 [化1]
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中（a2)具有交联性基的 构成单元为能够与羧基进行反应的交联性基。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中（a2)具有交联性基的 构成单元是选自具有环氧基及/或氧杂环丁基的构成单元、以及具有由-NH-CH 2-O-R(R为 氢原子或者碳数1~20的烷基）所表示的基团的构成单元中。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其为正型。
7. -种硬化膜的制造方法，其包括： (1) 将根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤； (2) 自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤； (3) 利用光化射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤； (4) 利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及 (5) 对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。
8. 根据权利要求7所述的硬化膜的制造方法，其中在所述进行显影的步骤后、所述后 烘烤步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。
9. 一种硬化膜，其是利用根据权利要求7或8所述的方法来形成。
10. 根据权利要求9所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。
11. 一种有机电致发光显示装置或者液晶显示装置，其包括根据权利要求9或10所述 的硬化膜。
【专利摘要】本发明提供一种感光性树脂组合物，其不仅维持高感度、透明性以及耐化学品性，并且显影时的密接性优异。上述感光性树脂组合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000。式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)(1)。
【IPC分类】G03F7-004, G03F7-039, G02F1-1333, C08L33-14, C08F20-32, H01L51-50, C08L33-02, H05B33-22, C08F20-06
【公开号】CN104662474
【申请号】CN201380050101
【发明人】山﨑健太, 霜山达也
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年9月20日
【公告号】WO2014050730A1