负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法
【专利说明】
[0001] 本申请是申请日为2011年2月23日，申请号为201180010940. 3,发明名称为《负 型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法》的中国专利申请的分案申请。
技术领域
[0002] 本发明涉及一种负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。
【背景技术】
[0003] 在薄膜晶体管（以下，记作"TFT"）型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件和固 体摄像管元件等电子部件中，为了使层状配置的配线间绝缘，通常设置层间绝缘膜（参见 专利文献1)。作为其材料，由于优选用于得到所需图案形状的工序数少并且具有充分平坦 性的材料，因此广泛使用负型感光性树脂组合物（参见专利文献2)。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :日本特开2000 - 10089号公报
[0007] 专利文献2 :日本专利第3650985号公报
【发明内容】
[0008] 发明要解决的问题
[0009] 在上述电子部件中，TFT型液晶显示元件是经过在层间绝缘膜上形成透明电极膜， 再在其上形成液晶取向膜的工序而制造的。这时，由于该层间绝缘膜在透明电极膜的形成 工序中被暴露在高温条件下，因此需要对其具有充分的耐性。
[0010] 此外，近年来，对于TFT型液晶显示元件，有着大画面化、高辉度化、高精细化以及 高速响应化等多种技术动向，液晶显示元件的结构也随之变得复杂化。因此，对于所用的层 间绝缘膜，在低介电常数、高透光率（>80%，λ = 400nm)等方面也要求比以往提高的高性 能，同时，在液晶显示元件的结构上，也开始要求能够实现至50 μ m左右的厚膜化等特殊要 求。
[0011] 然而，通常用于现有层间绝缘膜的形成的负型感光性树脂组合物，在同时实现厚 膜化、和高透过率及高分辨率方面极其困难，强烈要求开发一种可以形成兼具有这样的特 性的层间绝缘膜的负型感光性树脂组合物。
[0012] 本发明鉴于上述情况而进行，其目的在于提供一种即使厚膜化，也可以形成分辨 率、透明性、耐热性、耐热变色性和耐溶剂性等各种特性都十分优异的层间绝缘膜的负型感 光性树脂组合物。此外，本发明目的还在于提供一种由该负型感光性树脂组合物所形成的 层间绝缘膜及其形成方法。
[0013] 解决问题的方法
[0014] 本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其含有：包含下述通式（1)所表示的重 复单元的（A)环状烯烃树脂、（B)多官能性丙烯酸单体、和（C)光聚合引发剂。式（1)中， R1、!?2、!?3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1?15的烷基、碳原子数为2?20 的烯基、碳原子数为5?15的环烷基、碳原子数为6?20的芳基或碳原子数为1?20的 烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2?20的烷氧基羰基、碳原子数为4?20的三 烧基甲娃烧氧基幾基、碳原子数为2?20的烧基幾氧基、碳原子数为3?20的條基幾氧基 和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。
[0015] [化 1]
[0016]
【主权项】
1. 一种负型感光性树脂组合物，其含有： 包含下述通式（1)所表示的重复单元的（A)环状締姪树脂、 炬）多官能性丙締酸单体、和 (C)光聚合引发剂，
式中，Ri、R2、R3和R4各自独立地表示选自氨原子、碳原子数为1?15的烧基、碳原子 数为2?20的締基、碳原子数为5?15的环烧基、碳原子数为6?20的芳基或碳原子数 为1?20的烧氧基、或者水解性甲娃烧基、碳原子数为2?20的烧氧基幾基、碳原子数为 4?20的=烧基甲娃烧氧基幾基、碳原子数为2?20的烧基幾氧基、碳原子数为3?20的 締基幾氧基和氧杂环了基的取代基，并且也可W直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼 此连接。
2. 如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂包含所述通式 (1)所表示的R1、R2、R3和R4为氨原子的结构单元。
3. 如权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂包含所述 通式（1)所表示的R1、R2、R 3和R4的任一者为碳原子数为2?20的烧氧基幾基或碳原子数 为2?20的烧基幾氧基的结构单元。
4. 如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中R1、R2、R3和R4各自独立地为选自 由氨原子、碳原子数为1?15的烧基、碳原子数为2?20的締基、碳原子数为6?15的芳 基、碳原子数为6?20的烧氧基、碳原子数为2?20的烧氧基幾基W及碳原子数为2?20 的烧基幾氧基组成的组中的取代基。
5. 如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述水解性甲娃烧基为选自由= 甲氧基甲娃烧基和甲基二甲氧基甲娃烧基组成的组中的至少一种。
6. 如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述碳原子数为2?20的烧氧基 幾基为选自由甲基醋基、叔了基醋基、2 -己基己基醋基、节基醋基、环戊基醋基、环己基醋 基和締丙基醋基组成的组中的至少一种。
7. 如权利要求1所述的负型感光性树脂组合物，其中所述碳原子数为2?20的烧氧基 幾基为选自由甲基醋基、2-己基己基醋基、节基醋基、环戊基醋基、环己基醋基和締丙基醋 基组成的组中的至少一种。
8. 如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，含有1摩尔％ W上所述通式（1)所表示的R1、R2、R3和R 4 为氨原子的结构单元。
9. 如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，含有10摩尔％ W上所述通式（1)所表示的R1、R2、R3和R 4 为氨原子的结构单元。
10. 如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂w环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，W60摩尔％^下的比例含有所述通式（1)所表示的Ri、 R 2、R3和R4为氨原子的结构单元。
11. 如权利要求2所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，W50摩尔％^下的比例含有所述通式（1)所表示的Ri、 R 2、R3和R4为氨原子的结构单元。
12. 如权利要求3所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，含有1摩尔％ W上所述通式（1)所表示的R1、R2、R3和R 4 的任一者为碳原子数为2?20的烧氧基幾基或碳原子数为2?20的烧基幾氧基的结构单 J L 〇
13. 如权利要求3所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状締姪中 的式（1)结构单元的总量为基准，含有10摩尔％ W上所述通式（1)所表示的R1、R2、R3和R 4 的任一者为碳原子数为2?20的烧氧基幾基或碳原子数为2?20的烧基幾氧基的结构单 J L 〇
14. 如权利要求3所述的负型感光性树脂组合物，其中（A)环状締姪树脂W环状