专利名称：大面积步进扫描式曝光机的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种大面积曝光机，由于采用了步进扫描曝光方式，在不扩大有效曝光面积和不增加灯功率的情况下，实现了大面积精密曝光。
目前，公知的紫外光曝光机采用二种方式实现大面积曝光，一是增加有效曝光面积，面积的增加导致光学部件面积的增加，使制作成本和难度成倍增加，为了确保紫外光的光强度，面积增加后必须采用大功率紫外灯或多个灯同时工作；一是采用单向扫描方式，这样虽然可以提高一个方向的曝光长度，另一方向还必须通过扩大有效曝光区域实现。
本实用新型的目的则是针对上述现有技术存在的问题，设计了一种在不增加有效曝光面积和灯功率的前提下，通过有效曝光区的步进扫描以及边缘递减光校正窗，实现了大面积精密曝光。
本实用新型的目的可以通过以下措施来达到一种大面积步进扫描式曝光机，其特征是在曝光机的光输出窗3下方设置边缘递减光校正窗4；边缘递减光校正窗4为相对平行六面体。
本实用新型相比现有技术具有如下优点本实用新型由于采用上述方案，在不增加有效曝光面积和灯功率的情况下，可以实现大面积精密曝光，曝光面积的大小仅由平台的步进和扫描区域的大小决定，这是可以方便实现的。因此可以大大降低设备的制作成本和复杂程度。
图1是本实用新型有效曝光的区域形状和相邻两次扫描间的交叠区域示意图。
图2是本实用新型步进扫描平台及其上的曝光机原理图。
图3是本实用新型曝光机光输出窗上的光校正窗示意图。
图4是本实用新型光校正窗立体结构示意图。
以下结合附图对本实用新型作进一步描述如
图1所示，在矩形曝光区两边增加三角形曝光区的有效曝光区形状后，三角形区域是相邻两次扫描的交叠区，交叠区某点的曝光量随距图中虚线的距离线性递减。两次叠加后交叠区的曝光量与其它位置的曝光量相同。由图可知，步进距离是有效曝光区域的宽度减去一个等腰三角形的高度，如果步进距离小于这一距离，交叠区的曝光量将大于其它区域，反之则小于其它区域的曝光量。如果交叠产生误差，交叠区曝光量与其它区域曝光量的最大误差为交叠误差量与交叠区宽度之比，因此只要保证交叠区足够宽，采用上述方式曝光产生的误差即可忽略不计。例如，设交叠区的宽度为10mm，步进精度为0.2mm，则曝光误差为2％。
为了实现如
图1所示的有效曝光区，可在曝光机1的光输出窗3上附加一个边缘递减光校正窗4，不论曝光机1输出何种形状的曝光区，经过光输出窗3的校正后，形成如
图1所示的有效曝光区。
图1所示的有效曝光区的形状只是实施例中的一种，在相同的步进误差条件下，可以实现交叠区的总曝光量与非交叠区的曝光量之间的误差最小。采用其它有效曝光区的形状同样可以实现在一次曝光时交叠区内曝光量的递减，但两次相邻扫描的曝光量叠加后，与非交叠区内的曝光量之间的误差将增大。总的设计原则是一次曝光时在交叠区内的曝光量递减，第二次曝光时产生相反方向的递减，两次总的曝光量与非交叠区的曝光量的误差在工艺要求的误差范围内。
如图2所示，曝光机1固定在步进扫描平台2上，平台采用X方向步进，Y方向扫描方式，曝光机的光输出窗3输出的紫外光经边缘递减光校正窗4校正为如
图1所示的形状后，幅照在放置于固定平台5上的待曝光工件6。将待曝光工件6放置于固定平台5上，通过程序设置好步进扫描的起始点、扫描距离、扫描速度、步进距离等参数，步进扫描平台2在直流电机驱动下开始带动曝光机1作第一次扫描，曝光机1的光输出经边缘递减光校正窗4校正后对待曝光工件6曝光，当有效曝光区沿扫描方向对待曝光工件6曝光完毕后(此时有效曝光区已处工件外)，步进扫描平台2步进，步进距离必须确保两次扫描在三角形区域内交叠，开始第二次扫描，扫描完成后开始第二次步进，依次进行扫描与步进，直至整个工件曝光完毕。
采用上述方式制作的曝光机1，有效曝光区面积为81900mm2，两次扫描重叠部分的宽度为15mm，步进距离在100mm～300mm连续可调，步进精度0.1mm，扫描距离在10mm～1170mm连续可调，扫描速度在1mm/s～42mm/s连续可调，在程序控制下可完成一次步进一次扫描或多次重复扫描，灯功率为2KW，上述曝光机1用于彩色等离子体显示器基板图形曝光，效果良好。
上述实施例也可以采用曝光机1固定，待曝光工件6在步进扫描平台2上进行步进和扫描的方式，原理相同。
权利要求1.一种大面积步进扫描式曝光机，其特征是在曝光机的光输出窗(3)下方设置边缘递减光校正窗(4)。
2.根据权利要求1所述的大面积步进扫描式曝光机，其特征是边缘递减光校正窗(4)为相对平行六面体。
3.根据权利要求1所述的大面积步进扫描式曝光机，其特征是曝光机(1)固定在步进扫描平台(2)上，平台采用X方向步进，Y方向扫描方式。
专利摘要本实用新型设计了一种在不增加有效曝光面积和灯功率的前提下,通过有效曝光区的步进扫描以及边缘递减光校正窗,实现了大面积精密曝光,共特征是在曝光机的光输出窗3下方设置边缘递减光校正窗4;边缘递减光校正窗4为相对平行六面体。
文档编号G03F7/22GK2393123SQ99229789
公开日2000年8月23日 申请日期1999年11月1日 优先权日1999年11月1日
发明者陈向真, 王绪丰, 陈秀敏, 王存华, 胡斌 申请人:信息产业部电子第五十五研究所