微透镜阵列以及固态成像元件的利记博彩app

本发明涉及微透镜阵列以及使用了该微透镜阵列的固态成像元件。本申请要求基于2022年5月10日在日本提出的专利申请特愿2022-077426号的优先权，并将其内容援引于此。

背景技术：

1、已知一种能够携带且也能够组装到薄型的移动电话中的使用了固态成像元件的距离图像传感器。

2、例如，在专利文献1中记载了具备多个光电转换部和设置在光电转换部上的微透镜阵列的光电转换基板。微透镜阵列具有将入射的光会聚到各光电转换部的功能。

3、在构成微透镜阵列的微透镜中，为了提高聚光率，使用折射率较大的材质。但是，若折射率高，则在与空气的界面处发生反射，因此入射光产生损耗。

4、为了缓和该损耗，已知在微透镜上设置由折射率比微透镜的材料低的材料形成的防反射层。

5、在专利文献2中记载了在含氟硅氧烷树脂中添加内部具有空洞的二氧化硅微粒的材料作为低折射率材料。中空的二氧化硅具有与空气大致相同的折射率，因此具有能够通过改变含量而比较容易地调节所形成的防反射层的折射率的优点。

6、现有技术文献

7、专利文献

8、专利文献1：日本特开2019-195051号公报

9、专利文献2：日本专利第5668276号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、近年来，随着固态成像元件的用途的扩大和结构的复杂化，出现了在上述的防反射层上形成其他层的情况。例如，在使用固态成像元件的3d传感器中，有时在防反射层上形成衍射光栅图案。

3、一般的衍射光栅图案通过对感光性树脂层进行曝光、显影、图案化而形成。详细情况将后述，但是发明人发现，在含有中空二氧化硅填料的防反射层上形成这样的图案时，有时会发生产生裂纹或斑点

4、(stains)等不良情况。发明人阐明了这一原因，从而完成了本发明。

5、本发明的目的在于提供具备低折射率层以抑制界面反射、并且能够在低折射率层上适当形成其他层的微透镜阵列。

6、用于解决课题的手段

7、本发明的第一方式是一种排列配置有多个微透镜的微透镜阵列。

8、该微透镜阵列具备含有中空填料和介质且形成在多个微透镜上、具有比多个微透镜小的折射率的低折射率层。

9、在低折射率层中，二值化平面图像中的白像素的比率为76％以下。

10、本发明的第二方式是具备第一方式涉及的微透镜阵列的固态成像元件。

11、发明的效果

12、根据本发明，可以提供具备低折射率层以抑制界面反射、并且能够在低折射率层上适当形成其他层的微透镜阵列。

1.一种微透镜阵列，其是排列配置有多个微透镜的微透镜阵列，

2.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其中，

3.根据权利要求1所述的微透镜阵列，

4.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其中，

5.一种固态成像元件，具备权利要求1至4中任一项所述的微透镜阵列。