专利名称:曝光机的利记博彩app
技术领域:
本实用新型涉及一种曝光机。 技术背景曝光机主要用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统, 凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求,传统的曝光机的曝光箱盖与 曝光箱不能做到紧密贴合,导致曝光精度不够。
实用新型内容本实用新型提供一种曝光箱盖与曝光箱能紧密贴合、提供曝光精度的曝光机。本实用新型为解决技术问题提供如下方案一种曝光机,包括机架、曝光机箱、曝光箱盖,在所述曝光机箱内有曝光灯管,其特 征在于所述曝光机箱与曝光箱盖之间设密封橡胶圈,所述曝光箱上表面为透明玻璃面,在 所述玻璃面上开设小孔,从小孔中穿一根细软的橡胶管,所述橡胶管一端连接曝光箱内部 的抽真空机,另一端放置在玻璃面上,当机箱盖与机箱贴合时,抽真空机开始工作,将箱盖 与箱体之间抽成真空,使得曝光箱盖与曝光箱贴合的更紧密,进一步提高曝光精度。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
参见附图,一种曝光机,包括机架1、曝光机箱2、曝光箱盖3,在所述曝光机箱2内 有曝光灯管4,所述曝光机箱2与曝光箱盖3之间设密封橡胶圈5,所述曝光机箱2上表面 为透明玻璃面6,在所述玻璃面上开设小孔7,从小孔7中穿一根细软的橡胶管8,所述橡胶 管8 —端连接曝光机箱2内部的抽真空机9,另一端放置在玻璃面上6,当机箱盖3与曝光 机箱2贴合时,抽真空机开始工作,将曝光箱盖3与曝光机箱之间抽成真空,使得曝光箱盖 3与曝光机箱2贴合的更紧密,进一步提高曝光精度。
权利要求1. 一种曝光机,包括机架、曝光机箱、曝光箱盖,在所述曝光机箱内有曝光灯管,其特征 在于所述曝光机箱与曝光箱盖之间设密封橡胶圈,所述曝光机箱上表面为透明玻璃面,在 所述玻璃面上开设小孔,从小孔中穿一根细软的橡胶管,所述橡胶管一端连接曝光机箱内 部的抽真空机,另一端放置在玻璃面上。
专利摘要本实用新型公开了一种曝光机,包括机架、曝光机箱、曝光箱盖,在所述曝光机箱内有曝光灯管,所述曝光机箱与曝光箱盖之间设密封橡胶圈,所述曝光箱上表面为透明玻璃面,在所述玻璃面上开设小孔,从小孔中穿一根细软的橡胶管,所述橡胶管一端连接曝光箱内部的抽真空机,另一端放置在玻璃面上,当机箱盖与机箱贴合时,抽真空机开始工作,将箱盖与箱体之间抽成真空,使得曝光箱盖与曝光箱贴合的更紧密,进一步提高曝光精度。
文档编号G03F7/20GK201903755SQ20102052420
公开日2011年7月20日 申请日期2010年9月7日 优先权日2010年9月7日
发明者朱庆中 申请人:芜湖市富达技术有限公司