专利名称：四分等比例分光装置及具有该装置的激光刻线设备的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及光学领域，尤其涉及一种四分等比例分光装置及具有该装置的激 光刻线设备。
背景技术：
目前的太阳能电池激光刻线工艺中，有采用单激光器单光路进行加工，也有单激 光器多光路进行加工的工艺。比如常见的一路激光分成四路切割的分光方法。但是现有技术对一路激光分成四路切割的分光方法采用的是水平分光或比例分 光的方法。水平分光技术激光平面呈水平布置，分光镜、反射镜等元件的镜片中心都布置在 同一水平面上，激光光路经过多次分光、多次反射后仍保持在水平平面上完成光传输，此法 通常只使用反射功率与透射功率之比为50% 50%的分光镜。但该技术占用较大的水平 面来布置分光镜和反射镜，且到达聚焦镜要多一次反射，占用光传输元件较多和光传输损 失较大。比例分光技术激光在同一直线上完成分光，一分四路的分光镜反射功率与透射 功率比例从激光输入方向依次按25% 75%,33% 67%,50% 50%，最后一面镜片反 射率100%。比例分光技术虽然节约空间，但因分光镜反射功率与透射功率比例偏差范围较 大，各路光功率分配存在不均衡现象。针对现时状况，本实用新型提供一种节省空间，功率分配均勻的四分等比例分光
直ο
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种节省空间，功率分配均衡的四分等比例分光装置。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种四分等比例分光装置，所 述四分等比例分光装置用于对入射的准直光束进行分光，所述四分等比例分光装置包括反 射镜组、分光镜组及聚焦镜组，所述反射镜组包括反射率均为100%的第一反射镜及第二反 射镜；所述分光镜组包括反射率和透射率均为50%的第一分光镜、第二分光镜及第三分光 镜；所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所 述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一 直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光， 所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射 至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且 位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一 分光镜所产生的第一反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜 上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光，所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所 述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光 上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。较佳地，所述第二反射光与准直光束平行。较佳地，所述第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜的中心均位于与 准直光束平行的一直线上。较佳地，所述第一束光与第二束光之间的距离、第二束光与第三束光之间的距离、 第三束光与第四束光之间的距离相等。本实用新型还提供一种激光刻线设备，包括第一台板、第二台板、固定于所述第一 台板上的激光器、扩束镜、滑动连接于所述第二台板上的若干底座、若干所述底座上设有四 分等比例分光装置，所述四分等比例分光装置包括反射镜组，所述反射镜组包括反射率均 为100%的第一反射镜及第二反射镜；分光镜组，所述分光镜组包括反射率和透射率均为 50%的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；聚焦镜组，所述聚焦镜组包括焦距相等的第 一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射 镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至 所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形 成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述 第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光 镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一反射光的一侧，并 且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述 第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光，所述第 一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形 成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于 所述第四反射光上形成第四束光。较佳地，该激光刻线设备还包括固设于所述第二台板上的水平移动平台，所述底 座于所述水平移动平台上沿水平方向自由滑动。较佳地，所述底座具有切割头，所述切割头包括聚焦镜以及喷嘴，所述底座上还设 有调节离焦量以及所述喷嘴高度的垂直移动平台。较佳地，所述垂直移动平台包括粗调垂直移动平台以及精调垂直移动平台，所述 粗调垂直移动平台旋转喷嘴从而调节所述喷嘴的高度，所述精调垂直移动平台精调所述切 割头的高度从而调节所述喷嘴的高度以及离焦量。与现有技术相比，该四分等比例分光装置的光学元件少，节约空间并减少光能的 损失；该第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜的反射率均为50%，最后形成四束功率均占 准直光束能量25%的光，能量均勻，有利于刻画出更高质量的线条。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型激光刻线设备的结构布置示意图[0019]图2为图1所示激光刻线设备的四分等比例分光装置的光路原理图具体实施方式
图1为本实用新型具有四分等比例分光装置的激光刻线设备的结构布置示意图。 如图1所示，本实用新型激光刻线设备1000，包括第一台板100、第二台板200、固定于所述 第一台板100上的激光器300、扩束镜400、反射镜500、600、滑动连接于所述第二台板200 上的若干底座。本实施例中，底座采用6061A铝合金加工而成，具有良好的抗腐蚀性以及可 焊接性。第二台板200上设有水平移动平台210，底座滑动地置于水平移动平台210上。底 座设有切割头710、垂直移动平台720以及竖板730。切割头710上设有聚焦镜(图未示) 以及喷嘴711。垂直移动720平台包括粗调垂直移动平台以及精调垂直移动平台，粗调垂直 移动平台旋转喷嘴711从而调节所述喷嘴711的高度，精调垂直移动平台精调所述切割头 710的高度从而调节喷嘴711的高度以及离焦量。竖板730上开有竖孔731，用于让光线通 过。较佳者，粗调垂直移动平台调节高度的范围在100毫米到200毫米之间；精调垂直 移动平台调节高度的范围在20毫米到30毫米之间。具体地，结合图1以及图2，底座包括第一底座10、第二底座20、第三底座30以及 第四底座40。第一底座10对应的竖孔的上方设有第二反射镜11。第二底座20设有第一 分光镜21以及位于第一分光镜21正上方的第二分光镜22，第一分光镜21正对第一底座 10的竖孔。第二分光镜22与第二反射镜11互相平行。第三底座30设有第三分光镜31， 第四底座40设有第一反射镜41。第二分光镜22、第三分光镜31以及第一反射镜41位于 同一直线上。第二分光镜22与第二反射镜41的中心所在直线与第二分光镜22、第三分光 镜31以及第一反射镜41中心所在直线相互平行。第二反射镜11、第一反射镜41的反射率 为100%，第一分光镜21、第二分光镜22、分光镜31的反射率均为50%。第一聚焦镜12、 第二聚焦镜23、第三聚焦镜32、第四聚焦镜42分别为第一底座10、第二底座20、第三底座 30、第四底座40对应的聚焦镜，分别位于第二反射镜11、第二分光镜22、第三分光镜31、第 一反射镜41的正上方。第一聚焦镜12、第二聚焦镜23、第三聚焦镜32、第四聚焦镜42的中 心所在直线与第二分光镜22、第三分光镜31以及第一反射镜41所在直线互相平行。第一 聚焦镜12、第二聚焦镜23、第三聚焦镜32、第四聚焦镜42连同第二反射镜11、第一反射镜 41、第一分光镜、第二分光镜22、第三分光镜31形成四分等比例分光装置。激光器300发出激光，经过扩束镜400扩束，反射镜500以及反射镜600调向后形 成准直光束800射入第一底座10的竖孔，准直光束800以45度角入射到第一分光镜21，经 第一分光镜21分光后，分为水平的第一透射光810以及垂直的第一反射光820 ；第一透射 光810再经过第三分光镜31分光，形成水平的第二透射光830以及垂直的第二反射光840， 第二反射光840经第三聚焦镜32聚焦后形成第三束光930。第二透射光830经第一反射镜 41反射后形成垂直的第三反射光850，第三反射光850经第四聚焦镜42聚焦后形成第四束 光940 ；第一反射光820再经过第二分光镜22分光，形成水平的第四反射光860以及垂直 的第三透射光870，第三透射光870经第二聚焦镜23聚焦后形成第二束光920。第四反射 光860最后经第二反射镜11反射形成第五反射光880，第五反射光880经第一聚焦镜12聚焦形成第一束光910。第一束光910、第二束光920、第三束光930、第四束光940互相平行 且位于同一垂直面上。所述第一束光910与第二束光920之间的距离、第二束光920与第 三束光930之间的距离、第三束光930与第四束光940之间的距离均相等。同一光线于本实用新型四分等比例分光装置的第二反射镜11、第一反射镜41、第 一分光镜21、第二分光镜22、第三分光镜31以及聚焦镜之间的传输均位于同一垂直面上， 因而节约了空间；该四分等比例分光装置的光学元件少，节约空间同时减少光能的损失； 该第一分光镜21、第二分光镜22、第三分光镜31的反射率均为50%，最后形成四束功率均 占准直光束能量25%的光，能量均勻，有利于刻画出更高质量的线条。需要注意的是，本实用新型四分等比例分光装置并不局限于一分四路分光系统， 还可为一分二路分光系统或者一分八路分光系统，只要适当调整反射镜、分光镜以及聚焦 镜的数量即可。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实施例的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种四分等比例分光装置，用于对入射的准直光束进行分光，其特征在于，包括反射镜组，所述反射镜组包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；分光镜组，所述分光镜组包括反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；聚焦镜组，所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光；所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。
2.如权利要求1所述的四分等比例分光装置，其特征在于所述第二反射光与准直光 束平行。
3.如权利要求1所述的四分等比例分光装置，其特征在于所述第一聚焦镜、第二聚焦 镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜的中心均位于与准直光束平行的一直线上。
4.如权利要求1所述的四分等比例分光装置，其特征在于所述第一束光与第二束光 之间的距离、第二束光与第三束光之间的距离、第三束光与第四束光之间的距离相等。
5.一种激光刻线设备，包括第一台板、第二台板、固定于所述第一台板上的激光器、扩 束镜、滑动连接于所述第二台板上的若干底座、若干所述底座上设有四分等比例分光装置， 其特征在于所述四分等比例分光装置包括反射镜组，所述反射镜组包括反射率均为100%的第一反射镜及第二反射镜；分光镜组，所述分光镜组包括反射率和透射率均为50%的第一分光镜、第二分光镜及 第三分光镜；聚焦镜组，所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四 聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在 的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反 射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射 光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互 平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一 反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第 五反射光；所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二 透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四 聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。
6.如权利要求5所述的激光刻线设备，其特征在于所述第二反射光与准直光束平行。
7.如权利要求5所述的激光刻线设备，其特征在于所述第一聚焦镜、第二聚焦镜、第 三聚焦镜及第四聚焦镜的中心均位于与准直光束平行的一直线上。
8.如权利要求5所述的激光刻线设备，其特征在于所述第一束光与第二束光之间的 距离、第二束光与第三束光之间的距离、第三束光与第四束光之间的距离相等。
9 如权利要求5所述的激光刻线设备，其特征在于还包括固设于所述第二台板上的 水平移动平台，所述底座于所述水平移动平台上沿水平方向自由滑动。
10.如权利要求5所述的激光刻线设备，其特征在于所述底座具有切割头，所述切割 头包括聚焦镜以及喷嘴，所述底座上还设有调节离焦量以及所述喷嘴高度的垂直移动平 台。
11.如权利要求10所述的激光刻线设备，其特征在于所述垂直移动平台包括粗调垂 直移动平台以及精调垂直移动平台，所述粗调垂直移动平台旋转喷嘴从而调节所述喷嘴的 高度，所述精调垂直移动平台精调所述切割头的高度从而调节所述喷嘴的高度以及离焦量。
专利摘要本实用新型公开一种四分等比例分光装置，包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，准直光束经过该四分等比分光系统后，形成四束功率均为占准直光束25％的第一、第二、第三、第四光束。该四分等比例分光装置的光学元件少，节约空间同时减少光能的损失；该第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜的反射率均为50％，最后形成四束功率均占准直光束能量25％的光，能量均匀，有利于刻画出更高质量的线条。
文档编号G02B27/10GK201681210SQ20102012811
公开日2010年12月22日 申请日期2010年3月5日 优先权日2010年3月5日
发明者杨明生, 王勇, 覃海 申请人:东莞宏威数码机械有限公司