专利名称：光刻法制造示波管内刻度的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及的是一种光刻法制造示波管内刻度，属于示波管制造工艺技术领域。
背景技术：
示波管是利用电子束来显示电信号的器件。为了更直观、准确的测量电信号的各 种参数，示波管屏幕上必须有分格标记的刻度。现有技术采用的是有外刻度方法。用一块 刻了分格标记的有机膜玻璃板装在管子屏幕前面就形成了外刻度。外刻度的优点在于便于 加工，主要缺点是存在观察视差，由于刻度线与电子束迹不是处在一个平面上，只有当观察 :的眼睛与待测波形所处的管面相垂直时，刻度线才与电子束迹重合，否则将带来较大的
发明内容
本发明提出的是一种光刻法制造示波管内刻度，其目的旨在克服外刻度方法所存 在的缺陷，可使电子束迹与刻度线处于同一平面上，消除视差。
本发明的技术解决方案光刻法制造示波管内刻度，包括如下工艺步骤
—、配制感光胶，取明胶液30ml、重铬酸铵溶液10ml和刻线材料5g，放在磁力搅拌 器上混合搅拌2 4小时，200目丝绢布双层过滤；所述的刻线材料为着色二氧化钛；
二、涂胶，将玻壳放入恒温烘箱0°C -250°C内预热60s，在每只玻壳上滴入配制好 的感光胶20ml，静置10s后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层烘干，使感光胶均匀的涂 敷在玻屏内表面； 三、曝光，将装有内刻度底版的夹具放在曝光机上，对涂好胶的玻壳进行曝光，时 间为10s ; 四、显影，玻壳曝光后用水显影，用水冲掉未感光部分的感光胶，留下的便是所需 的刻度线； 五、烤胶焙烧，将显影完毕的玻壳放入高温焙烧烘箱(0°C -550°C )内烤胶焙烧，以
彻底去除显影后留在刻线中的杂质和水分，使刻线牢固地粘接在玻壳内表面。 滴入适量配制好的感光胶，静置10s后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层
烘干，使感光胶均匀的涂敷在玻屏内表面，玻壳在涂胶前必须进行清洗，室内温度控制在
25°C，烘干时间为2min，根据玻壳的大小调整风量大小，确保感光胶在玻壳内表面形成硬实
的薄膜，增加胶层与玻壳的粘附性，确保胶层烘干。 曝光用能提供丰富紫外光的高压汞灯为光源的曝光机。 本发明的优点电子束迹与刻度线处于同一平面上，消除了视差。能够获得清晰、 精确的刻度线，且易于大量生产。选择不同的材料，可制出不同颜色的刻线。烤胶焙烧工艺 使刻线牢固地粘接在玻壳内表面。
具体实施方式
配制感光胶 感光胶是一种以光照射后能发生光化学反应的高分子溶液，示波管内刻度的感光 胶由感光性材料明胶、增感剂重铬酸铵((NH4)2Cr207)和刻线材料组成。将明胶溶液、重铬 酸铵溶液及刻线材料按一定比例在磁力搅拌器上搅拌(2 4)h，经过滤配制成感光胶。明 胶是一种高分子物质，在紫外光的作用下，由溶于水的线型分子结构变为不溶于水的网状 分子结构，即发生感光反映。为提高感光胶的感光度、固化速度和粘接性能，在配制感光胶 时还加入了增感剂重铬酸铵。重铬酸铵中的正六价铬离子在紫外光的作用下还原为正三价 与明胶结合形成不溶于水的物质。刻线材料为不溶于水的着色材料，选择不同的材料，可制 出不同颜色的刻线。
涂胶 将玻壳放入恒温烘箱(0°C 250°C )内预热，滴入适量配制好的感光胶，静置一段
时间后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层烘干，使感光胶均匀的涂敷在玻屏内表面。涂
胶必须在十分清洁的暗室中进行，对环境的温度、湿度要加以控制，在洁净干燥的操作台上
进行操作。为保证感光胶与玻壳内表面有良好的粘附，玻壳在涂胶前必须进行清洗，烘干时
要对烘干温度、烘干时间和热风风量进行控制，确保感光胶在玻壳内表面形成硬实的薄膜，
增加胶层与玻壳的粘附性。 曝光 曝光对内刻度精度有很大影B向，曝光时将装有内刻度底版的专用夹具放在曝光机 上，对涂好胶的玻壳进行曝光， 一般时间为10s。示波管为负性曝光，即底版有刻线的部分为 透光，无刻度部分不透光，曝光后所得到的画面与底版上透光部分相同。感光胶吸收光谱都 在紫外光区域，用能提供丰富紫外光的高压汞灯为光源的曝光机。曝光时根据感光胶层的 厚度、光源强度和底版的质量选择合适的曝光时间。 显影玻壳曝光后用水显影，刻线部分由于底版是透光的，经紫外光照射后发生感 光反映，产生不溶于的物质，而其余部分由于底版不透光，则未发生感光反映。用水冲掉未 感光部分的感光胶，留下的便是所需的刻度线。显影时要对显影时间、显影温度进行控制， 并根据内刻度检验标准对刻线进行检验，以获得符合工艺要求的内刻度画面。
烤胶焙烧 将显影完毕的玻壳放入高温焙烧烘箱((TC 550°C )内烤胶焙烧，以彻底去除显 影后留在刻线中的杂质和水分，使刻线牢固地粘接在玻壳内表面。根据不同的刻线材料确 定合适的焙烧温度，一般在45(TC左右。 在示波管的生产过程中，内刻度工序是重要的生产流程之一，它直接影响到示波 管的观测精度和外观。高质量的内刻度取决于精确的内刻度底版、优质的感光胶、先进的曝 光设备以及先进的工艺等因素。
权利要求
光刻法制造示波管内刻度，其特征是包括如下工艺步骤一、配制感光胶，取明胶液30ml、重铬酸铵溶液10ml和刻线材料5g，放在磁力搅拌器上混合搅拌2～4小时，200目丝绢布双层过滤；所述的刻线材料为着色二氧化钛；二、涂胶，将玻壳放入恒温烘箱0℃-250℃内预热60s，在每只玻壳上滴入配制好的感光胶20ml，静置10s后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层烘干，使感光胶均匀的涂敷在玻屏内表面；三、曝光，将装有内刻度底版的夹具放在曝光机上，对涂好胶的玻壳进行曝光，时间为10s；四、显影，玻壳曝光后用水显影，用水冲掉未感光部分的感光胶，留下的便是所需的刻度线；五、烤胶焙烧，将显影完毕的玻壳放入高温焙烧烘箱(0℃-550℃)内烤胶焙烧，以彻底去除显影后留在刻线中的杂质和水分，使刻线牢固地粘接在玻壳内表面。
2. 根据权利要求1所述的光刻法制造示波管内刻度，其特征是滴入适量配制好的感光 胶，静置10s后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层烘干，使感光胶均匀的涂敷在玻屏内 表面，玻壳在涂胶前必须进行清洗，室内温度控制在25t:，烘干时间为2min，根据玻壳的大 小调整风量大小，确保感光胶在玻壳内表面形成硬实的薄膜，增加胶层与玻壳的粘附性，确 保胶层烘干。
3. 根据权利要求1所述的光刻法制造示波管内刻度，其特征是曝光用能提供丰富紫外 光的高压汞灯为光源的曝光机。
全文摘要
本发明是光刻法制造示波管内刻度，包括如下工艺步骤感光胶由感光性材料明胶、增感剂重铬酸铵、刻线材料组成，放在磁力搅拌器上混合搅拌，过滤；将玻壳放入恒温烘箱内预热，在玻壳上滴入适量配制好的感光胶，静置后，将玻壳放在多头旋转烘干机上将胶层烘干，将装有内刻度底版的夹具放在曝光机上，对涂好胶的玻壳进行曝光；玻壳曝光后用水显影，用水冲掉未感光部分的感光胶，留下的便是所需的刻度线；将显影完毕的玻壳放入高温焙烧烘箱内烤胶焙烧。优点电子束迹与刻度线处于同一平面上，消除了视差。能够获得清晰、精确的刻度线，且易于大量生产。选择不同的材料，可制出不同颜色的刻线。烤胶焙烧工艺使刻线牢固地粘接在玻壳内表面。
文档编号G03F7/00GK101718951SQ20091023424
公开日2010年6月2日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者毕军, 胡月州 申请人:南京华东电子真空显示科技有限责任公司