专利名称：涂胶、显影单元的方便维修结构的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及涂胶、显影单元的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片 上进行涂胶、显影的涂胶单元及显影单元的方便维修结构。
背景技术：
目前，巿场上相关半导体设备的涂胶、显影单元都是固定在机架上的，当单 元发生故障需要维修或更换时，需要人工将整体单元从狭小的空间搬出进行维修，
单元整体重量要超过30公斤，即笨重又不方便，容易造成部件的局部划伤，从而 产生机械尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程。
随着巿场的需求相关设备需要更新换代，合理简单的结构不仅能够降低成本, 节省时间，而且能够降低劳动强度。如今半导体设备已经发展到一定程度，半导 体厂商对设备产能的要求仍是居高不下。那么，追求单元结构的精简化，节约设 备维修时间也是很重要的。
实用新型内容
为了克服上述的不足，本实用新型的目的在于提供一种涂胶、显影单元的方 便维修结构，解决涂胶、显影单元维修或更换时存在的笨重又不方便，容易造成 部件的局部划伤，从而产生^U戎尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程等问题。釆用 本实用新型可以缩短工艺单元故障的维修时间，可以为保证设备的正常产能争取 时间。
本实用新型的技术方案是
一种涂胶、显影单元的方便维修结构，涂胶或显影单元的基座置于安装板上， 基座底部安装凸轮随动器，安装板上开有与凸轮随动器配合的凹槽。
所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，四个凸轮随动器分两侧对称安装于 涂胶或显影单元的基座底部，安装板上开有与凸轮随动器配合的两条直线凹槽， 凸轮随动器分别落在两条凹槽内，凹槽作为凸轮随动器前后滚动的轨道。
所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，凹槽内侧设有对凸轮随动器平稳直 线滚动的尺寸限位，使凹槽的内侧以尺寸对凸轮随动器进行轴向定位。所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，凸轮随动器通过螺母及配套的螺栓 与基座紧固连接。
本实用新型的优点及有益效果是
1、 本实用新型的底座下部安装凸轮随动器，在与底座接合的机架安装板上开 有与凸轮随动器滚动相配合的凹槽。当单元发生故障需要进行维修或更换时，便 可以拆除单元与机架的固定螺栓，借助凸轮随动器的滚动作用将单元整体沿直线 凹槽向外拉出。本实用新型改变了以往传统的单元安装方式，借助凸轮随动器的 滚动来方便设备单元的维修并减少维修时产生尘粒，可以实现对涂胶(显影)单 元的方便、快捷的维修与及时更换，即插即用、清洁灵活。
2、 本实用新型安装板的两条凹槽内侧设有对凸轮平稳直线滚动的尺寸限位。
3、 本实用新型使涂胶、显影单元模块的维修更加方便、快捷、灵活。
4、 本实用新型的结构简单，便于装配，减少设备维修时间，为保证、提高设
备产能提供良好条件。
图1-图2是本实用新型不同角度的三维结构示意图。
图中，1、基座；2、凸轮随动器；3、安装板；4、螺母；A、 B为安装板的 两条凹槽。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作详细描述。
如图l-图2所示，本实用新型涂胶、显影单元的方便维f务结构主要由以下几 部分组成基座1一个、凸轮随动器2四个、安装板3—个、螺母4四个。具体 结构如下
涂胶或显影单元的基座1置于安装板3上，基座1底部安装凸轮随动器2， 安装板3上开有与凸轮随动器2配合的凹槽。本实施例中，四个凸轮随动器2(每 侧两个)分两侧对称安装于涂胶(显影)单元的基座1底部，凸轮随动器2用螺 母4及配套的螺栓与基座1紧固连接，安装板3上开有与凸轮随动器2配合的两 条直线凹槽A、 B,凸轮随动器2分别落在两条凹槽A、 B内，凹槽A、 B作为 凸轮随动器2前后滚动的轨道；凹槽内侧设有对凸轮随动器2平稳直线滚动的尺 寸P艮位，使凹槽A、 B的内侧以尺寸对凸轮随动器2进行轴向定位(定位是准确 确定该单元在^t反1上的前后位置，限位是限制该单元在^+反1上的左右活动范
4围)。凸轮随动器2在与之接合的机架安装才反3上可以在相配合的凹槽内前后滚动。
本实用新型中，凸轮随动器2的材料为不#^ 1Crl8Ni9Tl。
当涂胶(显影)单元发生故障需要维修或更换时，便可以拆除整体单元的固 定螺栓，就可以通过凸轮随动器2在安装板3上的凹槽A、 B内的滚动作用，而 将整个涂胶(显影)单元沿直线凹槽平稳的向外拉出，从而在需要时，可以快捷、 灵活的实现涂胶、显影单元的快捷维修与及时更换。
通过以上对涂胶(显影)单元的机座在安装板上自由滚动的具体介绍，说明 了本实用新型结构设计与传统结构的根本差异。
由于单元结构设计的更新，使故障维修更为灵活、省时，同时减少尘粒的产生。
由于各半导体生产厂的涂胶、显影单元的结构不同，所以在设备发生故障时， 需要釆取不同的方法、方案来对设备进行维修。但核心所在仍是快捷、省时，因 为半导体生产厂对产能的严格要求，需要设备在各个环节节省时间，本实用新型 结构设计便是该问题的解决方案之一。
权利要求1、一种涂胶、显影单元的方便维修结构，其特征在于涂胶或显影单元的基座(1)置于安装板(3)上，基座(1)底部安装凸轮随动器(2)，安装板(3)上开有与凸轮随动器(2)配合的凹槽。
2、 按照权利要求1所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，其特征在于 四个凸轮随动器(2)分两侧对称安装于涂胶或显影单元的基座(1)底部，安装 板(3)上开有与凸轮随动器(2)配合的两条直线凹槽，凸轮随动器(2)分别落 在两条凹槽内，凹槽作为凸轮随动器(2)前后滚动的轨道。
3、 按照权利要求1所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，其特征在于 凹槽内侧设有对凸轮随动器(2 )平稳直线滚动的尺寸限位，使凹槽的内侧以尺寸 对凸轮随动器(2)进行轴向定位。
4、 按照权利要求1所述的涂胶、显影单元的方便维修结构，其特征在于 凸轮随动器(2)通过螺母(4)及配套的螺栓与基座(1)紧固连接。
专利摘要本实用新型涉及涂胶、显影单元的改进技术，具体为一种用以在半导体晶片上进行涂胶、显影的涂胶单元及显影单元的方便维修结构，解决涂胶、显影单元维修或更换时存在的笨重又不方便，容易造成部件的局部划伤，从而产生机械尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程等问题。涂胶或显影单元的基座置于安装板上，基座底部安装凸轮随动器，安装板上开有与凸轮随动器配合的凹槽。当单元发生故障需要进行维修或更换时，便可以拆除单元与机架的固定螺栓，借助凸轮随动器的滚动作用将单元整体沿直线凹槽向外拉出，可以实现对涂胶(显影)单元的方便、快捷的维修与及时更换，即插即用。
文档编号G03F7/16GK201262684SQ20082001538
公开日2009年6月24日 申请日期2008年9月3日 优先权日2008年9月3日
发明者猛 魏 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司