专利名称：图案形成方法和液滴喷出装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及图案形成方法和液滴喷出装置。
背景技术：
以往，在液晶显示装置或场致发光显示装置等显示装置中设置用于显示图像的基板。在这种基板上，以品种管理和制造管理为目的，形成把制造源或制品编号等信息代码化后的识别代码(例如二维代码)。识别代码由用于再生识别代码的构造体(有色的薄膜或凹部等点)构成。构造体在多个点形成区(数据单元)以给定的图案形成。
作为识别代码的形成方法，例如在特开平11-77340号公报、特开2003-127537号公报中记载使用溅射法形成代码图案的激光溅射法；对基板喷射包含研磨材料的水，刻印代码图案的喷水法。
可是，在激光溅射法中，为了取得所需尺寸的代码图案，有必要把金属箔和基板的间隙调整为数～数十μm。因此，对基板和金属箔的各表面要求非常高的平坦性，而且必须以μm级的精度调整金属箔和基板的间隙。结果，能形成识别代码的基板受限制，所以存在损害识别代码的通用性的缺点。此外，在喷水法中，在代码图案的刻印时，水或尘埃或研磨剂等飞散，所以存在污染基板的缺点。
近年，为了解决这样的生产上的问题，作为识别代码的形成方法，喷墨法引人注目。在喷墨法中，从喷嘴喷出包含金属粒子的液滴，把该液滴干燥，形成点。通过使用该方法，能扩大基板的对象范围，此外在形成识别代码时，能避免基板的污染。
可是，在喷墨法中，把落到基板上的液滴干燥时，基板的表面状态或液滴的表面张力等有可能引起以下的问题。即液滴落到基板表面后，该液滴伴随着时间的经过，在基板的表面扩散。因此，如果把液滴干燥需要给定时间(例如100毫秒)以上，液滴就从数据单元伸出，有时浸入到与该数据单元相邻的数据单元。因此，有可能错误形成代码图案。
认为通过图10所示的方法能避免这样的问题。在该方法中，对位于液滴喷出头101的正下方的基板102照射激光L。然后，基板102上的液滴Fb浸入激光L的区域内，通过激光瞬间把液滴Fb干燥。可是，根据该方法，对液滴喷出头101的喷出口103附近照射来自液滴Fb或基板102的反射光或散射光Ld。结果，喷出口103内的液体F干燥或烧成凝固，所以液滴Fb的飞行路线有可能弯曲，或喷出口103堵塞。
发明内容
本发明的目的在于，提供避免液滴的飞行路线弯曲或喷出口堵塞，能提高与图案形状有关的控制性的图案形成方法和液滴喷出装置。
为了实现所述的目的，在本发明的第一形态中，提供一种方法，从液滴喷出头的喷出口对基板喷出包含图案形成材料的液滴，使基板对于激光的照射位置移动，落到基板上的液滴到达照射位置时，对液滴照射激光，形成图案。该方法在由基板向喷出口反射的激光到达喷出口之前，由设置在连接照射位置和喷出口的直线上的遮光部件遮挡激光。
在本发明的其他形态中，提供一种液滴喷出装置，包括具有与基板相对的喷出口，从该喷出口向基板喷出液滴的液滴喷出头；对基板照射激光的激光照射部件；使基板对于激光照射部件移动，使得落到基板上的液滴到达激光的照射位置的移动部件。该液滴喷出装置具有在由基板向喷出口反射的激光到达喷出口之前，遮挡该激光的遮光部件；遮光部件设置在连接照射位置和喷出口的直线上。
在本发明的其他形态中，提供一种液滴喷出装置，包括具有与基板相对的多个喷出口，从各喷出口向基板喷出液滴的液滴喷出头；对基板照射激光的激光照射部件；使基板对于激光照射部件移动，使得落到基板上的液滴到达激光的照射位置的移动部件。该液滴喷出装置具有在由基板向喷出口反射的激光到达喷出口之前，遮挡该激光的遮光部件。遮光部件设置在连接照射位置和所述喷出口的直线上。各喷出口在基板的表面配置为一列。遮光部件沿着各喷出口的排列方向延伸，并且包围全部喷出口。
下面简要说明附图。
图1是表示具有基于本实施例的图案形成方法的图案的液晶显示装置的平面图。
图2是表示本实施例的液滴喷出装置的概略立体图。
图3是表示液滴喷出头以及激光头的概略立体图。
图4是表示液滴喷出头以及激光头的概略立体图。
图5是表示液滴喷出装置的电路的电路框图。
图6是表示变更例的液滴喷出装置的概略剖视图。
图7是表示变更例的液滴喷出装置的概略剖视图。
图8是表示变更例的液滴喷出装置的概略剖视图。
图9是表示变更例的液滴喷出装置的概略剖视图。
图10是表示以往例的液滴喷出头以及激光头的概略剖视图。
具体实施例方式
以下，按照图1～图5，说明具有利用本发明的图案形成方法形成的识别代码的液晶显示装置。在说明本方法时，按图2所示那样定义X箭头方向、Y箭头方向、Z箭头方向。
如图1所示，液晶显示装置1具有四角形状的玻璃基板(以下称作基板)2。在基板2的表面2a的大致中央形成封入液晶分子的四角形状的显示部3，在显示部3的外侧形成扫描线驱动电路4和数据线驱动电路5。在液晶显示装置1中，根据从扫描线驱动电路4和数据线驱动电路5供给的数据信号，控制液晶分子的取向状态。而且，按照液晶分子的取向状态把从照明装置(未图示)照射的平面光调制，在基板2的显示部3显示图像。
在基板2的表面2a的左角形成表示液晶显示装置1的制造编号或制造批次的识别代码10。识别代码10由多个点D构成，在代码形成区S内形成给定的图案。代码形成区S由16行×16列构成的256个数据单元C构成，各数据单元C均等虚拟地分割形成边长1mm的正方形的代码形成区S。通过对各单元C内有选择地形成点D，形成识别代码10。这里，以下把形成点D的单元C记载为作为图案形成位置的黑单元C1，把不形成点D的单元C记载为白单元C0。此外，以下把各黑单元C1的中心位置记载为“目标喷出位置P”，把数据单元C的一边的长度记载为“单元宽度W”。
通过对单元C(黑单元C1)喷出包含作为图案形成材料的金属微粒(例如镍微粒或锰微粒)的液滴Fb，通过把落在单元C上的液滴Fb干燥和烧结，形成点D。也可以通过照射激光，把液滴Fb干燥，形成点D。
下面，说明用于形成识别代码10的液滴喷出装置。
如图2所示，液滴喷出装置20具有长方体的基台21。在基台21的上部形成在X箭头方向延伸的一对引导沟22。在基台21上配置基板台23，该基板台23与X轴电机MX(参照图5)连接，由它驱动。如果由X轴电机MX驱动，基板台23就沿着引导沟22，在X箭头方向或反X箭头方向移动。在基板台23的上表面设置吸引式的夹紧机构(未图示)。基板2通过该夹紧机构使该表面2a向上(代码形成区S)，配置和固定在基板台23的给定位置。
在基台21的两侧部安装门型的引导部件24。在引导部件24的上部配置收藏液体F的收藏容器25。在引导部件24的下部，沿着Y箭头方向形成一对导轨26。在导轨26上可移动地支撑滑架27。滑架27与Y轴电机MY连接(参照图5)，由它驱动。滑架27沿着导轨26在Y箭头方向或反Y箭头方向移动。
在滑架27的下部搭载喷出液体的液滴喷出头(以下，称作喷出头)30。图3是从基板2观察喷出头30的立体图。如图3所示，在喷出头30的与基板2相对的面(图3所示的上表面)设置喷嘴板31。喷嘴板31由不锈钢的板部件形成。在喷嘴板31上，沿着Y箭头方向，以等间隔形成构成喷出口的多个喷嘴N。各喷嘴N之间的间隔设定为与各目标喷出位置P之间的间隔相同的尺寸(图1所示的单元宽度W)。
如图4所示，喷嘴板31的喷嘴形成面31a与基板2的表面2a平行配置。各喷嘴N是在与基板2正交的方向延伸的圆形孔，贯通喷嘴板31。各喷嘴N的内径设定为30μm。这里，以下把与各喷嘴N相对的基板2上的位置记载为“落下位置PF”。
在喷出头30内形成与收藏容器25连通的腔34。收藏容器25内的液体F通过腔34向各喷嘴N供给。在喷出头30内，在各腔34的上方配置能在纵向振动的振动板35。通过振动板35的振动，腔34内的容积扩大，或缩小。在振动板35的上部，在与各喷嘴N对应的位置配置多个压电元件PZ。通过压电元件PZ重复向纵向的收缩和伸展，与压电元件PZ对应的振动板35在纵向振动。
基板台23在X箭头方向输送，以目标喷出位置P到达落下位置PF的定时，压电元件PZ收缩和伸展。据此，对应的腔34的容积扩大和缩小，弯月面M振动。然后，给定量的液体F从对应的喷嘴N作为液滴Fb喷出。从喷嘴N喷出的液滴Fb落到位于喷嘴N的正下方的基板2上的目标喷出位置P(落下位置PF)。落到目标喷出位置P的液滴Fb伴随着时间的经过，浸湿，扩散，扩大到干燥时的尺寸(单元宽度W)。以下把液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等时的液滴Fb的中心位置记载为“照射位置PT”。
如图3和图4所示，在喷出头30附近，配置构成搭载半导体激光器LD的激光照射部件的激光头36。从半导体激光器LD出射的激光L具有与液体F(分散剂和金属微粒)的吸收波长对应的波长区。在半导体激光器LD中设置包含视准透镜37和聚光透镜38的光学系统。视准透镜37把来自半导体激光器LD的激光L收敛为平行的光束，向聚光透镜38引导。聚光透镜38把来自视准透镜37的激光L收敛，向基板2的表面2a引导。在本实施例中，光学系统的光轴A1和与基板2正交的法线所呈的入射角θ比45°大，来自照射位置PT的反射散射光Lr的反射角(反射散射角θr)设定为比45°大。
以落到落下位置PF的液滴Fb通过照射位置PT的定时，从半导体激光器LD照射激光L。通过激光L，液滴Fb中的分散剂蒸发，抑制液滴Fb的浸湿扩散。此外，液滴Fb中的金属微粒由连续的激光L的照射烧成。结果，在基板2的表面2a形成具有与单元宽度W相同的外径，并且呈半球形状的点D。
在形成点D时，在照射位置PT，照射的激光L的一部分由基板2或液滴Fb向喷出头30(喷嘴N)反射以及散射，结果，产生反射散射光Lr。反射散射光Lr的几乎全部由在基板2的表面2a或液滴Fb正反射的激光L构成，所以以与激光L的入射角θi相同的角度向喷嘴N反射和散射。即在照射位置PT，反射散射光Lr的反射散射角θr与激光L的入射角θi相同。
喷嘴N的内周面的一部分以及位于喷嘴N的周围的喷嘴形成面31a的一部分由数百nm左右的疏液膜39覆盖。疏液膜39是能透过激光L的膜，由硅树脂或氟素树脂形成。疏液膜39对液体F具有疏液性，在喷嘴N内，使液体F和空气的界面(弯月面M)的位置稳定。在本实施例中，疏液膜39在喷嘴板31上直接形成，但是在喷嘴板31和疏液膜39之间可以存在由硅烷耦合剂构成的数nm的紧贴层。这时，喷嘴板31和疏液膜39的紧贴性提高。
在喷嘴形成面31a上包围全部喷嘴N以及疏液膜39的外周地设置遮光部件40。遮光部件40由从喷嘴形成面31a向下方突出的四角框体(凸部)构成，沿着疏液膜39的外缘延伸。遮光部件40由吸收激光L的性质的材料构成，设置为遮挡连接照射位置PT和各喷嘴N的直线。遮光部件40的X箭头方向一侧的内壁面40a和各喷嘴N之间的距离(遮光宽度Ws)越小，此外，内壁面40a的高度(遮光高度Hs)越大，就能跨更宽范围遮挡向各喷嘴N的反射散射光Lr。
如果详细描述，则遮光部件40遮挡以满足Arctan((Ws+R)/Hs)＜θr的关系式的反射散射角θr反射和散射的反射散射光Lr，吸收。这里，R指喷嘴N的半径。关于反射散射光Lr的几乎全部，反射散射角θr与激光L的入射角θi相同。因此，遮光部件40遮挡以满足Arctan((Ws+R)/Hs)＜θi的关系式的入射角θi入射的激光L的反射散射光Lr，吸收。
在本实施例中，遮光宽度Ws设定为100μm，遮光高度Hs设定为等于遮光宽度Ws与喷嘴半径R的和，为130μm。因此，遮光部件40遮挡以满足Arctan((Ws+R)/Hs)＝45°＜θr的关系式的反射散射角θr反射和散射的反射散射光Lr。如上所述，光学系统的光轴A1和基板2的法线H所呈的入射角θi设定为比45°大。因此，遮光部件40遮挡从照射位置PT向各喷嘴反射和散射的反射散射光Lr，吸收。
由遮光部件40遮挡反射散射光Lr，所以喷嘴N内的液体F的粘度不增加，液体F不凝固。此外，疏液膜39不由于反射散射光Lr受到损伤。喷嘴N的外周由筒状的遮光部件40包围。因此，即使在基板2的表面2a和喷嘴形成面31a之间，反射散射光Lr多重反射或散射，也由遮光部件40遮挡反射散射光Lr，所以能从反射散射光Lr保护喷嘴N内的液体F。因为这些理由，能把液体F的流动性和弯月面M的稳定性良好维持。
把由遮光部件40吸收的反射散射光Lr变换为热，把该热通过不锈钢的喷嘴板31或Si制的腔34释放到外部。此外，由喷嘴板31吸收的热可以释放到喷嘴N内的液体F。据此，由于喷嘴板31的热，液体F的粘度降低，所以喷出高粘度的液体F时，能使液体F的喷出动作稳定。
下面按照图5说明所述的液滴喷出装置20的电路。
如图5所示，控制部41具有CPU、RAM、ROM。控制部41按照ROM中存储的各种数据和各种控制程序，执行基板台23的移动控制、喷出头30以及激光头36的驱动控制。
在控制部41连接包含起动开关、停止开关的输入装置42。在控制部41取入来自输入装置42的操作信号、表示识别代码10的图像的描绘数据Ia。如果从输入装置42输入描绘数据Ia，控制部41就生成表示是否对代码形成区S的各数据单元C喷出液滴Fb的位图数据BMD、用于驱动各压电元件PZ的压电元件驱动电压VDP、用于驱动半导体激光器LD的激光器驱动电压VDL。
在控制部41连接X轴电机驱动电路43和Y轴电机驱动电路44。控制部41对X轴电机驱动电路43输出用于驱动X轴电机MX的控制信号，对Y轴电机驱动电路44输出用于驱动Y轴电机MY的控制信号。X轴电机驱动电路43响应来自控制部41的驱动控制信号，使X轴电机MX正转或反转，使基板台23往返移动。Y轴电机驱动电路44响应来自控制部41的驱动控制信号，使Y轴电机MY正转或反转，使滑架27往返移动。
在控制部41连接能检测基板2的端缘的基板检测装置45。控制部41根据从基板检测装置45取得的检测信号，计算基板2的位置。
在控制部41连接X轴电机旋转检测器46和Y轴电机旋转检测器47。在控制部41，从X轴电机旋转检测器46和Y轴电机旋转检测器47取得检测信号。控制部41根据从X轴电机旋转检测器46取得的检测信号，运算基板2的移动方向和移动量。控制部41以照射位置C的中心位置和落下位置PF一致的定时对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49输出喷出定时信号SG。控制部41根据从Y轴电机旋转检测器47取得的检测信号，运算喷出头30的移动方向和移动量。结果，与各喷嘴N对应的落下位置PF配置在目标喷出位置P的移动路线上。
在控制部41连接喷出头驱动电路48。控制部41对喷出头驱动电路48输出与给定的时钟信号同步的喷出定时信号SG、与给定的时钟信号同步的压电元件驱动电压VDP。此外，控制部41根据位图数据BMD生成与给定的时钟信号同步的头控制信号SCH，依次对喷出头驱动电路48串行传送。喷出头驱动电路48把来自控制部41的头控制信号SCH与各压电元件PZ对应，进行串行/并行变换。喷出头驱动电路48如果从控制部41收到喷出定时信号SG，就对根据头控制信号SCH选择的压电元件PZ供给压电元件驱动电压VDP。
在控制部41连接激光器驱动电路49。控制部41对激光器驱动电路49输出喷出定时信号SG、与给定的时钟信号同步的激光器驱动电压VDL、头控制信号SCH。激光器驱动电路49把来自控制部41的头控制信号SCH与各半导体激光器LD对应，进行串行/并行变换。激光器驱动电路49如果从控制部41收到喷出定时信号SG，就待机给定的时间，对根据头控制信号SCH选择的半导体激光器LD供给激光器驱动电压VDL。即控制部41通过激光器驱动电路49从与喷出液滴Fb的喷嘴N对应的半导体激光器LD出射激光L。
这里，以下把从激光器驱动电路49收到喷出定时信号SG到供给激光器驱动电压VDL的时间记载为“待机时间”。待机时间相当于从液滴Fb落到基板2到到达照射位置PT的时间。激光器驱动电路49在从喷嘴N喷出液滴Fb后，只待机给定的时间。然后，激光器驱动电路49以液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时，从与喷出液滴Fb的喷嘴N对应的半导体激光器LD出射激光B。
下面说明基于液滴喷出装置20的识别代码10的形成方法。
如图2所示，首先在基板台23上，把表面2a向上，固定基板2。这时，基板2配置在比引导部件24更靠反X箭头方向一侧。
接着操作员操作输入装置42，对控制部41输入描绘数据Ia。控制部41生成基于描绘数据Ia的位图数据BMD，此外生成用于驱动压电元件的压电元件驱动电压VDP、用于驱动半导体激光器LD的激光器驱动电压VDL。
接着，为了各目标喷出位置P通过对应的落下位置PF，控制部41驱动控制Y轴电机MY，把滑架27(各喷嘴N)设置到给定的位置。
如果滑架27设置到给定的位置，控制部41就驱动控制X轴电机MX，使基板台23在X箭头方向移动，输送基板2。控制部41根据从基板检测装置45和X轴电机旋转检测器46取得的检测信号，判断黑单元C1(目标喷出位置P)是否输送到落下位置PF。在黑单元C1输送到落下位置PF之前，控制部41对喷出头驱动电路48输出压电元件驱动电压VDP和头控制信号SCH。此外，控制部41对激光器驱动电路49输出激光器驱动电压VDL。控制部41等待对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49双方输出喷出定时信号SG的定时。
在第1列的黑单元C1(目标喷出位置P)输送到落下位置PF的时刻，控制部41对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49双方输出喷出定时信号SG。
如果输出喷出定时信号SG，控制部41就对与头控制信号SCH对应的压电元件PZ通过喷出头驱动电路48供给压电元件驱动电压VDP。结果，从与头控制信号SCH对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。喷出的液滴Fb落到基板2上的落下位置PF(目标喷出位置P)。
控制部41从输出喷出定时信号SG开始，经过待机时间后，对与头控制信号SCH对应的半导体激光器LD供给激光器驱动电压VDL。结果，从根据头控制信号SCH选择的半导体激光器LD一齐出射激光L。
出射的激光L以液滴Fb通过照射位置PT的定时即液滴Fb的外径变得与单元宽度W相等的定时，对该液滴Fb照射。通过激光L，液滴Fb中的分散剂蒸发，进而烧成液滴Fb中的金属微粒。结果，在基板2的表面2a形成具有与单元宽度W相同的外径的点D。
在形成点D时，在照射位置PT，激光L向喷出头30的各喷嘴N反射和散射，结果产生反射散射光Lr。可是，关于反射散射光Lr的儿乎全部，反射散射角θr比45°大，所以反射散射光Lr在到达喷嘴N之前，由遮光部件40遮挡，吸收。据此，从反射散射光Lr保护各喷嘴N内的液体F，所以能良好地维持液体F的流动性和弯液面M的稳定性。因此，避免液滴Fb的飞行路线被弯曲或喷嘴N被堵塞。能从喷出头30稳定持续喷出液滴Fb。
以后同样，控制部41每当各目标喷出位置P到达落下位置PF时，从对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。然后，以各液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时，从激光头36对各液滴Fb照射激光L。这样，通过以给定的图案在代码形成区S形成点D，形成识别代码10。
根据本实施例，能取得以下的效果。
(1)在喷嘴板31，在连接照射位置PT和喷嘴N的直线上设置遮光部件40。
在遮光部件40，离喷嘴形成面31a的突出高度越大，与喷嘴N距离越小，即遮光部件40的遮光高度Hs越大，遮光宽度Ws越小，就能更多地遮挡从基板2向喷嘴N的反射散射光Lr。据此，能从反射散射光Lr保护喷嘴N内的液体F或疏液膜39。因此，能避免由于反射散射光Lr，喷嘴N内的液体F干燥，凝固，或液体F的粘度增加，或疏液膜39受损。因此，能把喷嘴N内的液体F的流动性或弯月面M的稳定性维持良好。因此，能避免液滴Fb的飞行路线弯曲，或喷嘴N堵塞，能提高与点D的形状有关的控制性。
(2)遮光部件40包围各喷嘴N的外周地形成四角筒状。根据同一结构，即使在基板2的表面2a和喷嘴形成面31a之间反射散射光Lr多重反射或散射，也能由遮光部件40遮挡反射散射光Lr，所以能从反射散射光Lr保护喷嘴N内的液体F。据此，能避免液体F的粘度增加，或液体F凝固。
(3)遮光部件40由吸收激光L的性质的材料构成。这时，反射散射光Lr由遮光部件40吸收，所以能防止反射散射光Lr的2次反射。因此，在基板2的表面2a和喷嘴形成面31a之间，不发生反射散射光Lr的多重反射或散射。因此，能避免液体F的粘度增加，或液体F凝固。
(4)以包围在Y箭头方向排列的全部喷嘴N的外周的方式形成遮光部件40。根据同一结构，与对各喷嘴N个别设置遮光部件40时相比，能减少部件数量。因此，能通过简便的结构，避免液滴Fb的飞行路线弯曲，或喷嘴N堵塞。
本实施例可以按以下变更。
例如如图6所示，遮光部件51可以设置在喷嘴N的与激光头36相对的位置。这时，能通过更简便的结构，遮挡来自照射位置PT的反射散射光Lr。
此外，如图7所示，作为遮光部件52，可以使用喷嘴形成面31a的全体上安装的板材。这时，遮光部件52具有位于喷嘴N的延长线上的贯通孔52a。遮光部件52对于喷嘴形成面31a，可以以机械或磁方式进行装卸。据此，能从喷嘴形成面31a取下遮光部件52，容易地洗净喷嘴N或喷嘴形成面31a，能使液滴Fb的喷出动作稳定。
如图8所示，可以在遮光部件40的内壁面形成多个沟53。这时，如果来自基板2的反射散射光Lr浸入沟53的内部，反射散射光Lr就在沟53内多重反射，结果衰减。在遮光部件40，通过变更其构造，能进一步提高光吸收性，此外能扩大材料的选择范围。
如图9所示，作为遮光部件55，可以使用与喷嘴板31类似的形状的板材。这时，遮光部件55安装在激光头36的顶端，在遮光部件55的与喷嘴N相对的位置，形成用于使液滴Fb通过的贯通孔54。重要的是，遮光部件55配置在连接照射位置PT和喷嘴N的直线上。
在本实施例中，代替光吸收性的材料，可以由光反射性的材料形成遮光部件40。重要的是，由能遮挡反射散射光Lr的任意材料形成遮光部件40。
在本实施例中，用基板2的背面和基板台23反射和散射反射散射光Lr。
在本实施例中，可以通过激光L的能量使液滴Fb向所需的方向流动。此外，通过只对液滴Fb的外缘照射激光，只让液滴Fb的表面凝固。即本发明可以应用于对液滴Fb照射激光，形成图案的任意的方法。
在本实施例中，作为激光源，可以使用碳酸激光器或YAG激光器。即作为激光源，可以使用能输出能把液滴Fb干燥的波长的激光L的任意的激光器。
在本实施例中，代替半球形状的点D，可以由液滴Fb，形成椭圆形状的点或线状的构造体。
本发明可以应用于构图形成由从平面状的电子发射元件发射的电子使荧光物质发光的场效应型装置(FED或SED)的绝缘膜或金属布线的方法。即本发明可以应用于对液滴Fb照射激光，形成图案的任意的方法。
在本实施例中，基板2可以是硅基板、柔性基板、或金属基板。
权利要求
1.一种图案形成方法，从液滴喷出头的喷出口对基板喷出包含图案形成材料的液滴，使所述基板相对激光的照射位置移动，落到所述基板上的液滴到达所述照射位置时，对所述液滴照射所述激光，形成图案，在由所述基板向所述喷出口反射的激光到达所述喷出口之前，由设置在连接所述照射位置和所述喷出口的直线上的遮光部件遮挡所述激光。
2.一种液滴喷出装置，包括液滴喷出头，具有与基板相对的喷出口，从该喷出口向所述基板喷出液滴；激光照射部件，对所述基板照射激光；移动部件，用于使所述基板相对所述激光照射部件移动，使得落到所述基板上的液滴到达所述激光的照射位置；具有遮光部件，其在由所述基板向所述喷出口反射的激光到达所述喷出口之前，用于遮挡该激光，所述遮光部件设置在连接所述照射位置和所述喷出口的直线上。
3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于在所述液滴喷出头的与所述基板相对的表面设置所述遮光部件，所述遮光部件从所述液滴喷出头的表面向所述基板突出。
4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部件包围所述喷出口的外周。
5.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部件包围所述喷出口；当所述激光对所述基板的入射角为θi，所述喷出口的内径为R，所述遮光部件和所述喷出口之间的距离为Ws，所述遮光部件的突出高度为Hs时，满足Arctan((Ws+R)/Hs)＜θi的关系式。
6.根据权利要求2或3所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部件具有吸收所述激光的性质。
7.根据权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部件具有多个沟，在所述沟内使由所述基板所反射的激光多重反射，衰减。
8.一种液滴喷出装置，包括液滴喷出头，具有与基板相对的多个喷出口，从各喷出口向所述基板喷出液滴；激光照射部件，对所述基板照射激光；移动部件，使所述基板相对所述激光照射部件移动，使得落到所述基板上的液滴到达所述激光的照射位置；具有遮光部件，其在由所述基板向所述喷出口反射的激光到达所述喷出口之前，遮挡该激光；所述遮光部件设置在连接所述照射位置和所述喷出口的直线上，所述喷出口在所述基板的表面配置为一列，所述遮光部件沿着所述喷出口的排列方向延伸，并且包围全部喷出口。
9.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部相对所述液滴喷出头的表面，能装卸。
10.根据权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于所述遮光部件以磁方式安装在所述液滴喷出头的表面。
全文摘要
遮光部件由光吸收性材料构成，设置在连接激光照射的基板上的照射位置和喷嘴的直线上。遮光部件由从喷嘴板的喷嘴形成面向基板突出的凸部构成，形成包围喷嘴的外周的筒状。遮光部件的遮光高度设定为与遮光宽度和喷嘴半径的和相同的尺寸。通过遮光部件，遮挡从照射位置反射和散射的反射散射光。
文档编号B41J2/01GK1944067SQ200610141478
公开日2007年4月11日 申请日期2006年9月29日 优先权日2005年10月4日
发明者三浦弘纲 申请人:精工爱普生株式会社