专利名称：多关节机器人的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入 储料器的多关节机器人。
背景技术：
作为现有的多关节机器人，提出了通过偏置肩关节部的旋转中心和台 座的旋转中心，在使台座转动时减小多关节机器人的旋转半径的多关节机 器人(例如，参照专利文献l)。
现有的多关节机器人l构成为，如图6所示，具备两组通过关节部3、 4、 5可旋转地被连接并传递旋转驱动源所产生的旋转力，进行期望动作的 臂2，使设置在两组臂2上的基端的关节部3的旋转中心轴上下(或轴向) 配置。
多关节机器人1具备两组臂2， 一组臂驱动型装置2为供给用，另一组 为取出用，能够同时进行工件9的供给动作及其它工件9的取出动作。
而且，现有的多关节机器人1构成为，通过臂2保持工件9的手部8 能够在由图中箭头X所示的工件9的取出，供给方向上直线移动。
而且，现有的多关节机器人1具备使设置有臂2的支撑构件10上下移 动的移动构件11 (以下，称为上下移动机构11)，能够调节臂2的上下位 置。而且，上下移动机构11的台座13可转动地设置，能够使多关节机器 人l旋转并改变方向。
另外，在现有的多关节机器人l中，在图中箭头Y所示的方向，即与 手部8的移动方向和支撑构件10的上下移动方向分别正交的方向上，相对 于基台14可移动地设置台座13并能够调节上下移动机构11的位置。
而且，现有的多关节机器人1所具备的两组臂2例如具有多个关节部， 即多关节机器人1构成为水平多关节型机器人。本实施方式中的臂2具备第一臂6 (以下，称为上臂6)、与上臂6连接的第二臂7 (以下，称为前 臂7)及与前臂7连接并保持工件9的手部8。
上臂6的基端通过驱动轴连接于支撑构件10，构成可转动的关节部3 (以下，称为肩关节部3)。该肩关节部3成为臂2的基端的关节部3。而 且，上臂6的前端和前臂7的基端通过驱动轴连接，构成可转动的关节部4 (以下，称为肘关节部4)。而且，前臂7的前端和手部8通过驱动轴连接， 构成可转动的关节部5 (以下，称为手关节部5)。为使肩关节部3的旋转 中心轴处于同轴上，配置为在上下方向上相对。
臂2通过未图示的旋转驱动源使肩关节部3、肘关节部4及手关节部5 转动，使手部8向工件取出'供给方向移动。此时，臂2按其结构进行伸縮 动作，以使手部8朝向一个方向，在使上臂6和前臂7伸直的伸长位置以 及使上臂6和前臂7处于折叠状态的縮短位置之间进行直线移动。
这里，在现有的多关节机器人1中，在图7所示的臂2的縮短位置， 由手部8保持的工件9的中心设计为与台座13的旋转中心一致。另外，通 过使肩关节部3的旋转中心和台座13的旋转中心相对于手部8的移动方向 在正交方向上偏置，在使台座13转动时在多关节机器人1的周围肘关节部 4或手部8不会从所需的最小区域圆15突出，能够减小多关节机器人1的 旋转半径。
而且，现有的多关节机器人提出了通过轮带将电动机的旋转传递给差 动减速器，由轴承支撑差动减速器的旋转的多关节机器人(例如，参照专 利文献2)。
现有的多关节机器人的旋转结构作用为，如图8所示，马达102倒立 安装在呈大致圆筒状的旋转构件104的外周部附近，通过安装在其轴以及 与减速机构103的输入结合的驱动输入轴193上的同步带轮191、 192和同 步带109供给旋转驱动力。减速机构103安装在固定构件105上，旋转构 件104的顶部通过机器人的基台117和螺栓116被安装，通过底部的轴承 112相对于固定构件105旋转自如地被保持。日本国特开2001-274218 (第4页 5页，图1、图2) [专利文献2]日本国特开平2-160485号公报(第2页 3页，图1)
发明内容
将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关 节机器人向大型化发展，要求在增加处理的基板张数的同时在短时间内进 行处理。因此对于机器人，尽管设备自身大型化至配置基板的储料器几乎 到达天花板的高度，但工件取出送入储料器的通过线还是需要抑制至较低。 也就是说，实现从几乎到达天花板的较高的通过线直至几乎接地的较低的 通过线，储料器中变为能够配置更多的基板，要求多关节机器人能够有效 利用高度方向。
而且，实现快速、高精度成为很大的课题。另外，大型化的设备为了 使周围的清洁度保持洁净需要高额的设备投资，因此希望在储料器中配置 更多的基板并进行处理。因此也希望能够在从前述的较高的通过线至较低 的通过线间于上下方向上移动。
而且，关于清洁度，为了确保清洁度使用的机器人需要构成为机器人 的内部不露出。因此，使用的机器人的驱动机构要求配置在机器人内部。
而且，液晶基板、半导体晶圆等的生产张数每年递增，为了提高生产 效率，对于机器人要求搬运生产率。但是，由于机器人包括机械零件所以 需要维护，维护时间也变为涉及生产率的重要因素，希望能够容易地进行 维护。关于维护理所当然地产生传递动力的部位的交换作业。交换作业最 多的是差动减速器的交换。怎样使该差动减速器的交换变得容易成为课题。 尤其是台座旋转时，支柱、臂及手等的转矩作用于驱动的差动减速器，因 此，台座的旋转轴的差动减速器损伤的可能性较高。
对于上述课题，现有的多关节机器人，使支柱及安装在支柱上的臂和 手旋转的台座的旋转机构是差动减速器直接连接于台座的构成，因此，维 护时为了替换内置的差动减速器，需要另外支撑支柱进行作业，无法容易 地进行维护，因此，存在差动减速器的交换作业时间长，生产效率降低的 问题。
而且，现有的多关节机器人是臂基端配置为上下同轴的结构。因此， 为了进行配置在臂基端的机械零件即马达、带轮等的交换，必须采取拆下一组臂后进行交换等的方法，因此，存在维护时间庞大，生产效率降低的 问题。
而且，在现有的多关节机器人的旋转机构的结构中，如果如一般的垂 直多关节机器人那样是在旋转机构上配置臂的结构，则即使是在底部配置 轴承的构成也由于上部的转矩负荷不会很大地进行作用，所以不存在问题， 但是通过台座使侧部的支柱旋转时则作用有很大的转矩负荷。这样一来， 差动减速器的输出平面和轴承的支撑平面不一致，因此，旋转时的转矩负 荷较大地进行作用，不仅差动减速器连轴承也会损伤，产生了维护变得困 难的问题。
而且，需要使工件的通过线较低，在图8所示的旋转机构中内部存在 不需要的空间，即使将其与现有的多关节机器人组合也无法形成较低的通 过线，因此，产生了无法将工件取出送入储料器下部的问题。
本发明是基于上述问题而进行的，目的是提供一种维护容易可实现较 低的通过线的多关节机器人。
为解决上述问题，本发明如下构成。
方案1所述的发明为一种多关节机器人，具备载置搬运物的手部； 与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向 移动地进行伸縮，配置为在上下方向上对向的多关节臂；对上下移动地安 装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支 撑构件；及连接于所述支柱的下端部，使安装在所述支柱上的所述多关节 臂旋转的台座，使所述台座旋转的差动减速器的输出轴的固定面位于支撑 所述台座的轴承的厚度的大致中心。
方案2所述的发明为，在旋转支撑所述多关节臂、所述支柱、所述移 动机构及所述台座的状态下，拆下所述差动减速器。
方案3所述的发明为，在所述台座的上面且所述差动减速器的上面具 备用于拆下所述差动减速器的盖。
方案4所述的发明为，所述轴承为交叉滚子轴承。
方案5所述的发明为，向所述差动减速器的输入是通过轮带由配置于 所述台座的马达进行的。方案6所述的发明为，在所述差动减速器的半径方向的外侧配置所述 轴承。
方案7所述的发明为，所述台座的旋转通过差动减速器的输出而进行， 除所述差动减速器以外另外通过所述台座所具备的轴承进行所述台座的旋 转支撑，在所述差动减速器的输出轴上连结所述差动减速器的输入轴的保 持构件。
方案8所述的发明为，所述轴承由交叉滚子轴承构成，所述交叉滚子 轴承的轴向间隙以负公差构成。
方案9所述的发明为一种多关节机器人，具备载置搬运物的手部； 与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向 移动地进行伸縮，配置为在上下方向上对向的多关节臂；对上下移动地安 装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支 撑构件；及连接于所述支柱的下端部，使安装在所述支柱上的所述多关节 臂旋转的台座，拔掉盖用螺栓拆下差动减速器盖，接下来，拔掉输出轴固 定螺栓，去掉固定于所述台座的固定构件，拔掉连结差动减速器的固定部 的固定部用螺栓，从基座拆下所述差动减速器的所述固定部。
根据方案1及9所述的发明，为了对使支柱及安装在支柱上的臂和手 旋转的台座进行维护，进行内置的差动减速器的替换作业时，通过除差动 减速器以外另外配置的轴承支撑台座，因此，不需要另外支撑支柱进行作 业，能够容易地进行维护。
而且，能够去除对台座的高度方向的浪费的空间。也就是说，手部的 底面能够较低地配置至台座的高度，可实现以低通过线的工件搬运。
而且，即使作用有台座旋转所引起的支柱、臂或手等的较大转矩，也 能够通过使用如交叉滚子轴承这样的即使针对来自所有方向的负荷也可以 精度良好地进行保持的轴承，以较大的旋转半径进行支撑，能够精度良好 地进行支撑的同时，取出差动减速器时也不需要另外支撑支柱进行作业， 能够容易地进行维护。
图1是表示本发明的实施例的多关节机器人的立体图。 图2是表示本发明的实施例的多关节机器人的俯视图。 图3是表示本发明的实施例的多关节机器人的主视图。
图4是表示本发明的实施例的台座的侧剖视图。
图5是表示本发明的实施例的多关节机器人的旋转半径的图。
图6是表示现有的多关节机器人的立体图。
图7是表示现有的多关节机器人的旋转半径的图。
图8是表示现有的多关节机器人的旋转结构的主视图。
符号说明
l-多关节机器人；2-臂；21-上臂；22下臂；3-肩关节部；4-肘关节部；
5-手关节部；6-上臂；7-前臂；8-手部；9-工件；lO-支撑构件；11-上下移动 机构；12-支柱；13-台座；14-基台；15-最小区域圆；16-支柱块；17-基座；
31-马达；32-输出轴；33-马达用轴承；34-轮带；35-输入齿轮用轴承；36-输入齿轮；37-差动减速器；38-固定部；39-输出轴；40-输出轴固定螺栓； 41-固定构件；42-交叉滚子轴承；43-固定构件；44-固定构件；45-差动减速 器盖；46-盖用螺栓；47-固定螺栓；48-固定部用螺栓；49-轴承保持构件； 50-开口部；51-加强筋。
具体实施例方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。 实施例1
图1是本发明的多关节机器人的立体图。图2是本发明的多关节机器 人的俯视图。图3是本发明的多关节机器人的主视图。
本发明的多关节机器人1是为了应对未图示的储料器的高层化而连接 分为多块的支柱12的结构。如此通过依次连接各支柱块16形成具有对应 于高层的高度的多关节机器人1。在本实施例中，构成连接4个支柱块16 的结构。各支柱块16的两端面构成为嵌合结构以连接支柱块16之间，另 外，为了精度良好地配置由直线导轨构成的导向机构具有未图示的定位孔，通过使用定位夹具进行调节来进行组装。
而且，本发明的多关节机器人1具备两组通过关节部3、 4、 5可旋转 地被连接并传递旋转驱动源所产生的旋转力，进行期望动作的臂2。而且， 构成为通过臂2保持工件9的手部8能够在由图中箭头X所示的工件9的 取出"供给方向上直线移动。而且，设置在两组臂2上的基端的关节部3的 旋转中心轴的关系构成为，如图2所示，相对于上臂21的基端的关节部3， 下臂22的基端的关节部3配置为在手部8的移动方向上偏移。
而且，具备使设置有臂2的支撑构件10上下移动的上下移动构件11， 能够调节臂2的上下位置。而且，上下移动机构11的台座13可转动地设 置，能够使多关节机器人l旋转并改变方向。这里，上下移动机构ll配置 在与手部8的移动方向相同的方向上，支撑构件10从上下移动机构11向 相对于手部8的移动方向正交的方向突出，连结于臂2的基端的关节部3。 而且，连结于下臂22的支撑构件10形成为，在臂2通过上下移动构件11 向下方移动时，如图2所示，不与台座13干涉地在手部8的移动方向上偏 置的形状。而且，上下移动机构11被未图示的具有密封功能的保护盖覆盖， 以抑制支柱12内部的灰尘产生。
下面，利用图4对台座13的结构进行说明。台座13的内部内置有驱 动台座13的马达31和减速机构36。为了较薄地构成台座13的厚度在内部 形成加强筋51，构成高刚性的结构以便能够保持安装在支柱12上的臂体的 重量。对台座13的详细结构进行说明。马达31通过螺栓等固定在台座13 上，马达31的输出轴32通过马达用轴承33旋转自如地被支撑，输出轴32 上安装有轮带34的一端。轮带34的另一端安装于通过配置在差动减速器 盖45正下方的输入齿轮用轴承35旋转自如地被支撑的输入齿轮36上，马 达31的动力通过轮带34传递给输入齿轮36。输入齿轮用轴承35的外圈固 定于轴承保持构件49，轴承保持构件49连结于差动减速器37的输出轴39。 如此通过由在输出轴39上连结轴承保持构件49的构成将输出轴39兼作轴 承保持构件49的安装基座，能够去除对台座高度方向的浪费的空间。也就 是说，手部的底面能够较低地配置至台座的高度，可实现低通过线的工件 搬运。而且，差动减速器37至差动减速器盖45的高度可通过输入齿轮轴承35的轴承厚度和轮带34的宽度求得，构成为最小尺寸。而且，输入齿 轮36对差动减速器37进行输入。差动减速器37的固定部38固定于基座 17，差动减速器37的输出轴39通过输出轴固定螺栓40固定于在台座13 上固定的固定构件41。差动减速器37部分的高度可通过差动减速器37、 输入齿轮用轴承35的轴承厚度及轮带34的宽度求得，构成为最小尺寸。
而且，不需要为了使台座13的厚度薄而多段层叠支撑台座13的旋转 动作的轴承，由能够保持来自所有方向的负荷的交叉滚子轴承42构成。交 叉滚子轴承42的内圈被保持于与台座13固定的固定构件43，旋转自如地 支撑台座13。而且，交叉滚子轴承42的外圈被止动地保持于在基座17上 固定的固定构件44。为了防止旋转时的支柱12的振动、倒下，交叉滚子轴 承42的轴向间隙例如以0至15pm左右的负公差构成。据此，交叉滚子轴 承的轴向间隙为零，因此，成为不会发生支柱12的振动或倒下的构成。
对交叉滚子轴承42和差动减速器37的关系进行说明。以差动减速器 37的输入齿轮36的旋转中心为旋转中心时，差动减速器37的输出轴39以 旋转中心为中心，与输入齿轮36的旋转半径相比在外侧具有旋转半径这样 地差动减速器37的输出轴39进行旋转。而且，交叉滚子轴承42以旋转中 心为中心，与差动减速器37的输出轴39的旋转半径相比在外侧具有旋转 半径这样地交叉滚子轴承42的内圈进行旋转。如此，交叉滚子轴承42和 差动减速器37的旋转中心相同，与差动减速器37相比在外侧具有旋转半 径这样地配置有交叉滚子轴承42。而且，在高度方向上，配置为差动减速 器37与固定输出轴39和台座13的固定构件41之间的固定面的高度位于 交叉滚子轴承42的大致高度中心。也就是说，据此，能够由较大的交叉滚 子轴承支撑支柱或上下移动机构、上下臂等的转矩负荷，通过使高度与输 出轴的固定面和交叉滚子轴承的大致高度中心一致，可抑制台座驱动时的 扭损。
通过这样的构成，由于台座13的旋转支撑由交叉滚子轴承42来进行， 台座13的旋转由差动减速器37的输出来进行，则即使在交换差动减速器 37的情况下，也由于台座13通过交叉滚子轴承42被支撑，所以能够自由 地只拆下差动减速器37。本发明与专利文献1不同的部分为，构成为下臂的基端的关节部配置 为相对于上臂的基端的关节部在手部的移动方向上偏移的同时，台座的旋 转支撑通过交叉滚子轴承来进行，台座的旋转通过差动减速器的输出来进 行这一部分。
下面，利用图1对动作进行说明。本发明的多关节机器人1所具备的 两组臂2例如具有多个关节部，即多关节机器人1构成为水平多关节型机
器人。本实施方式中的臂2具备与现有的臂2的结构相同的结构。
上臂6的基端通过驱动轴连接于支承构件10，构成可转动的肩关节部 3。该肩关节部3成为臂2的基端的关节部3。而且，上臂6的前端和前臂 7的基端通过驱动轴连接，构成可转动的肘关节部4。而且，前臂7的前端 和手部8通过驱动轴连接，构成可转动的手关节部5。
臂2通过未图示的旋转驱动源使肩关节部3、肘关节部4及手关节部5 转动，使手部8向工件取出，供给方向移动。此时，臂2按其结构进行伸縮 动作，以使手部8朝向一个方向，在使上臂6和前臂7伸直的伸长位置以 及使上臂6和前臂7处于折叠状态的縮短位置之间进行直线移动。
这里，利用下臂22对本实施例的多关节机器人1的旋转半径进行说明。 设计为在图5所示的臂22的縮短位置，由手部8保持的工件9的中心与台 座13的旋转中心一致。另外，通过使肩关节部3的旋转中心、手关节部5 的旋转中心及台座13的旋转中心在手部8的移动方向的轴线上一致地偏 置，在使台座13转动时在多关节机器人1的周围肘关节部4或手部8不会 从所需的最小区域圆15突出，能够使多关节机器人1的旋转半径很小。
这里，为了避免附图变得复杂利用下臂进行了说明，但是对于上臂21 也同样，设计为工件9的中心与台座13的旋转中心一致，肩关节部3、手 关节部5及台座13的旋转中心的位置关系也是与下臂相同的构成。
下面对上下方向的动作进行说明。臂2安装于支撑构件10，在上下移 动机构11上通过未图示的控制器的指令于上下方向移动。如图3所示，向 下方移动时，支撑构件10形成为不与台座13碰撞地在手部8的移动方向 上偏置的形状，因此，支撑构件10能够下降至上下移动机构11的最下点 的移动位置。下面，利用图4对差动减速器的交换作业的例子进行说明。首先拔掉
盖用螺栓46去掉差动减速器盖45。于是，可以确认固定在输入齿轮用轴承 35及台座13上的固定构件41。接下来，拔掉输入齿轮36的固定螺栓47， 分开输入齿轮36和轮带部分。由此拆下轮带34。接下来，拔掉输出轴固定 螺栓40，摘下固定于台座13的固定构件41。由此，差动减速器37的输出 轴39成为可自由取出的状态。接下来，拔掉连结差动减速器37的固定部 38的固定部用螺栓48，从基座17拆下差动减速器37的固定部38。如此能 够自由地从台座13取出差动减速器37。
如上所述，能够取出差动减速器。此时，台座通过交叉滚子轴承被支 撑，因此，能够在安装于台座的支柱及上下移动机构上不具备特殊的器具 地进行作业。
而且，对于马达的交换也能够通过拆下配置在马达上部的盖而容易地 进行交换作业。
权利要求
1. 一种多关节机器人，具备载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在上下方向上对向的多关节臂；对上下移动地安装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支撑构件；及连接于所述支柱的下端部，使安装在所述支柱上的所述多关节臂旋转的台座，其特征在于，使所述台座旋转的差动减速器的输出轴的固定面位于支撑所述台座的轴承的厚度的大致中心。
2. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，在旋转支撑所 述多关节臂、所述支柱、所述移动机构及所述台座的状态下，拆下所述差 动减速器。
3. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，在所述台座的 上面且所述差动减速器的上面具备用于拆下所述差动减速器的盖。
4. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，所述轴承为交 叉滚子轴承。
5. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，向所述差动减 速器的输入是通过轮带由配置于所述台座的马达进行的。
6. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，在所述差动减 速器的半径方向的外侧配置所述轴承。
7. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，所述台座的旋 转通过差动减速器的输出而进行，除所述差动减速器以外另外通过所述台 座所具备的轴承进行所述台座的旋转支撑，在所述差动减速器的输出轴上 连结所述差动减速器的输入轴的保持构件。
8. 根据权利要求1所述的多关节机器人，其特征在于，所述轴承由交 叉滚子轴承构成，所述交叉滚子轴承的轴向间隙以负公差构成。
9. 一种多关节机器人，具备载置搬运物的手部；与所述手部连接， 具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸縮， 配置为在上下方向上对向的多关节臂；对上下移动地安装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支撑构件；及连接于所述支柱的下端部，使安装在所述支柱上的所述多关节臂旋转的台座，其 特征在于，拔掉盖用螺栓拆下差动减速器盖，接下来，拔掉输出轴固定螺栓，去 掉固定于所述台座的固定构件，拔掉连结差动减速器的固定部的固定部用 螺栓，从基座拆下所述差动减速器的所述固定部。
全文摘要
本发明提供一种维护容易的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在上下方向上对向的多关节臂；对上下移动地安装在支柱上的在上下方向上移动的移动机构和所述多关节臂进行连接的支撑构件；及连接于所述支柱的下端部，使安装在所述支柱上的所述多关节臂旋转的台座，使所述台座旋转的差动减速器的输出轴的固定面位于支撑所述台座的轴承的厚度的大致中心。
文档编号B25J3/00GK101543992SQ200810111409
公开日2009年9月30日 申请日期2008年6月3日 优先权日2008年3月26日
发明者大仓正彦, 末吉智, 松尾智弘 申请人:株式会社安川电机