一种硅棒切片机床用导向装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅棒线切割机技术领域。
【背景技术】
[0002]NTC442切片机床是在半导体制造行业中广泛使用的用于切割单晶或多晶硅棒的设备。目前，NTC442切片机床上所使用的线锯导向装置，每次更换其中的外套时都要将导向轮的主体的外盖完全拆卸开，才能将外套取出，既费时间又，影响工作效率，影响生产成本；还容易在反复拆卸过程中造成螺丝打滑，造成导轮主体损坏，影响导向装置的使用寿命。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种硅棒切片机床用导向装置，外套拆装简单，省时省力，不会影响导向轮的机械结构。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是:
[0005]—种硅棒切片机床用导向装置，包括导向轮、弹性外套，所述导向轮外缘设有与所述弹性外套匹配的卡槽，所述弹性外套套装于所述卡槽内，所述弹性外套的外缘设有至少一条线锯导向槽。
[0006]作为进一步的技术方案，所述卡槽为方形卡槽或梯形卡槽。
[0007]作为进一步的技术方案，所述导向轮包括导轮主体、中轴、轴承所述导轮主体的中部设有与所述轴承配合的中心通孔，所述中轴与所述导轮主体之间通过轴承连接，所述中心通孔的一端设有盖板，其通过螺栓与所述导轮主体固接。
[0008]作为进一步的技术方案，所述导轮主体与所述盖板之间设有垫圈。
[0009]作为进一步的技术方案，所述导轮主体上远离所述盖板的一侧设有环形凸台，所述环形凸台与所述导轮主体一体且同轴，其内径小于所述中心通孔的内径。
[0010]作为进一步的技术方案，沿所述导轮主体的径向均匀设有四个通孔。
[0011]作为进一步的技术方案，所述弹性外套为树脂外套。
[0012]作为进一步的技术方案，所述弹性外套的外缘设有一条线锯导向槽。
[0013]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
[0014]采用弹性外套以及与其配合的导向轮，在更换外套时，无需拆卸导向轮，可以直接拆装，省时省力，不会影响导向轮的机械结构，延长导向装置的使用寿命。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型的结构示意图；
[0016]图2是图1中的A-A剖视结构示意图。
[0017]图中:1、导向轮；11、导轮主体；12、中轴；13、轴承；14、中心通孔；15、盖板；16、垫圈；17、环形凸台；18、通孔；2、弹性外套；3、卡槽、4、线锯导向槽。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0019]如图所示1-2，为本实用新型一种硅棒切片机床用导向装置(NTC442切片机床)的一个实施例，包括:
[0020]导向轮1、弹性外套2。导向轮I外缘设有与弹性外套2匹配的卡槽3，其为方形卡槽。弹性外套2为单槽的树脂外套，套装于卡槽3内，方形的卡槽3可以使外套的拆装方便，定位效果好、连接更牢固。弹性外套2为树脂外套，其外缘设有一条线锯导向槽4，起到导向作用。卡槽3也可以为梯形卡槽，在图中未示出，梯形卡槽上套装有与梯形卡槽的截面配合的截面也为梯形的弹性外套2，也可以达到牢固的定位效果。采用弹性材料制作外套，在拆卸过程中利用外套自身的弹力可以在不用拆卸导向轮I的情况下直接拆装外套，方便快捷，不影响导向轮I的机械结构。
[0021]导向轮I包括导轮主体11、中轴12、轴承13。导轮主体11的中部设有与轴承13配合的中心通孔14，中轴12与导轮主体11之间通过轴承13连接，使导向轮I结构牢固且紧凑，转动所承受的阻力小。
[0022]中心通孔14的一端设有盖板15，其通过螺栓与导轮主体11固接，对内部的轴承连接结构起到保护作用，不容易磕碰或受到污染。
[0023]导轮主体11与盖板15之间设有垫圈16，垫圈16上设有与盖板15上的螺孔相对应的螺孔，螺栓贯穿盖板15和垫圈16，将两者与导轮主体11固定连接。防止在运动过程中中轴12与盖板15之间发生摩擦或磕碰，影响使用效果和使用寿命。
[0024]导轮主体11上远离所述盖板15的一侧设有环形凸台17，环形凸台17与导轮主体11 一体且同轴，其内径小于中心通孔14的内径。环形凸台17可以保护中轴12，使其在运动过程中不易因偏摆而折断，也能对轴承连接结构起到保护作用。
[0025]沿导轮主体11的径向均匀设有四个通孔18。通孔18均为圆弧状的通孔，能在拆装过程中方便操作人员握住导轮主体11施加作用力，还能在一定程度上减轻导轮主体11的自重，在保证使用性能和寿命的前提下，使其在运动过程中更加稳定。
[0026]使用时，做为切割装置的线锯被限位在弹性外套2的线锯导向槽4中，导向装置以中轴12为中心，随着缠绕于弹性外套2上的线锯的移动而转动，使线锯始终保持缠绕状态，进而顺利完成切割作业。
[0027]采用弹性外套以及与其配合的导向轮，在更换外套时，无需拆卸导向轮，可以直接拆装，省时省力，不会影响导向轮的机械结构。导向轮本身运行稳定，自重轻，使用寿命更长。
【主权项】
1.一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:包括导向轮(1)、弹性外套(2)，所述导向轮(I)外缘设有与所述弹性外套(2)匹配的卡槽(3)，所述弹性外套(2)套装于所述卡槽(3)内，所述弹性外套(2)的外缘设有至少一条线锯导向槽(4)。2.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述卡槽(3)为方形卡槽或梯形卡槽。3.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述导向轮(I)包括导轮主体(11 )、中轴(12)、轴承(13)，所述导轮主体(11)的中部设有与所述轴承(13)配合的中心通孔(14)，所述中轴(12)与所述导轮主体(11)之间通过轴承(13)连接，所述中心通孔(14)的一端设有盖板(15)，其通过螺栓与所述导轮主体(11)固接。4.根据权利要求3所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述导轮主体(11)与所述盖板(15 )之间设有垫圈(16)。5.根据权利要求3所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述导轮主体(11)上远离所述盖板(15)的一侧设有环形凸台(17)，所述环形凸台(17)与所述导轮主体(11)一体且同轴，其内径小于所述中心通孔(14 )的内径。6.根据权利要求3所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:沿所述导轮主体(11)的径向均匀设有四个通孔(18)。7.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述弹性外套(2)为树脂外套。8.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机床用导向装置，其特征在于:所述弹性外套(2)的外缘设有一条线锯导向槽(4)。
【专利摘要】一种硅棒切片机床用导向装置，涉及硅棒线切割机技术领域。包括导向轮、弹性外套，所述导向轮外缘设有与所述弹性外套匹配的卡槽，所述弹性外套套装于所述卡槽内，所述弹性外套的外缘设有至少一条导向槽。采用弹性外套以及与其配合的导向轮，在更换外套时，无需拆卸导向轮，可以直接拆装，省时省力，不会影响导向轮的机械结构。
【IPC分类】B28D5/04, B28D7/00
【公开号】CN204736348
【申请号】CN201520359271
【发明人】王会敏, 何京辉, 李立伟, 张立涛, 菅书勇
【申请人】邢台晶龙电子材料有限公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年5月29日