一种用于硅片分离的加热水箱的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶硅生产辅助设备，特别是用于硅片分离的加热水箱。
【背景技术】
[0002]晶体硅具有较好的光电转化效率，污染隐患又比较小，因此在太阳能、电子和通讯领域中都是应用比较广泛的半导体基础材料。在晶体硅的硅片制作过程中，多线切割机由于具有极高的生产效率和出片率，因此是大直径超薄硅片切割工序中最常用的设备。
[0003]在线切割前，一般会用环氧树脂将晶体硅的硅片固定粘贴在玻璃板上，以防止切割过程中硅片移动而影响切割效果。切割完成后需要把硅片从玻璃板上分离出来。现有技术的分离方式是将玻璃板和硅片加热到270摄氏度进行烘烤分离，耗时约I小时，会产生有害废气，而且能源损耗比较大。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种节能环保的分离玻璃板和单晶硅硅片的设备。
[0005]为了实现该目的，本实用新型所采用的技术方案是:一种用于硅片分离的加热水箱，包括箱体，箱体设有顶盖，其特征在于:箱体还设有进水口、排水口和加热管，顶盖为可开合结构，加热管安装于箱体底部。
[0006]进一步的，箱体为长方体结构，进水口和排水口分别处于箱体的两个侧壁上，进水口所处位置的高度高于排水口。
[0007]作为本实用新型的一种实施方式，顶盖由固定板和活动板组成，活动板与固定板以铰接的方式安装连接。
[0008]进一步的，箱体还设有排气口，排气口位于固定板上。
[0009]进一步的，箱体还设有把手，把手安装在活动板上。
[0010]本实用新型所带来的有益效果是:
[0011]1.不产生有毒有害气体，能耗较低；
[0012]2.使用水作为热传递的介质，可以多次循环使用，并且能快速准确控制水温；
[0013]3.用管道连接加热水箱的进水管和排水管后，能控制加热水箱内的水量；
[0014]4.在密闭的环境下加热硅片和玻璃板，降低操作人员的劳动风险和强度。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型的结构立体图；
[0016]图2是本实用新型的剖面图；
[0017]图3是本实用新型的俯视图；
[0018]图4是本实用新型的侧视图。
[0019]附图标记:1.箱体;2.进水口 ;3.排水口 ;4.加热管;5.排气口 ;6.把手-J.固定板;8.活动板。
【具体实施方式】
[0020]如图1-4所示的用于硅片分离的加热水箱，包括长方体结构的箱体1，箱体I的顶盖为可开合的结构，由固定板7和活动板8用铰接的方式拼装而成，共同围闭箱体I的顶部，活动板8上设有把手6，固定板7上设有排气口 5;箱体I还配有进水口 2、排水口 3和加热管4 ;加热管4被安装于箱体I的底部，整体贯穿箱体I的长度方向；进水口 2和排水口 3分别处于箱体I的两个侧壁上，进水口 2所处位置的高度高于排水口 3。使用本实用新型的加热水箱时，只要打开活动板8，便能将粘接在一起的玻璃板和硅片(附图未显示)置于箱体I内；在进水口 2注入用于传递热量的水或水溶液，排水口 3用于放水；只要用两段管道(附图未显示)分别连接进水口 2和排水口 3，便能控制箱体I内的水量和循环；将加热管4连接到外部电源(附图未显示)后，操作人员能精确控制箱体I内的水温和加热时长；加热过程中的水蒸气将从排气口 5排出箱体1，使箱体I内的压力保持恒定。本实用新型的实施方式不受上述实施例的限定，利用本领域的普通知识和惯用技术手段，在不脱离本实用新型技术思想的前提下做出的修改和替换，均应落在本实用新型权利保护范围内。
【主权项】
1.一种用于硅片分离的加热水箱，包括箱体，箱体设有顶盖，其特征在于:箱体还设有进水口、排水口和加热管，顶盖为可开合结构，加热管安装于箱体底部。
2.根据权利要求1所述的加热水箱，其特征是，箱体为长方体结构，进水口和排水口分别处于箱体的两个侧壁上，进水口所处位置的高度高于排水口。
3.根据权利要求2所述的加热水箱，其特征是，顶盖由固定板和活动板组成，活动板与固定板以铰接的方式安装连接。
4.根据权利要求3所述的加热水箱，其特征是，箱体还设有排气口，排气口位于固定板上。
5.根据权利要求4所述的加热水箱，其特征是，箱体还设有把手，把手安装在活动板上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于硅片分离的加热水箱，包括箱体，箱体设有可开合的顶盖，还设有进水口、排水口、加热管和排气口；加热管被安装于箱体的底部；箱体为长方体结构，进水口和排水口分别处于箱体的两个侧壁上，排水口所处位置的高度高于排水口；顶盖由固定板和活动板组成，活动板与固定板以铰接的方式安装；排气口处于固定板上；活动板上安装有把手。本实用新型所带来的有益效果是：不产生有毒有害气体，能耗较低；使用水作为热传递的介质，可以多次循环使用，并且能快速准确控制水温；用管道连接加热水箱的进水管和排水管后，能控制加热水箱内的水量；在密闭的环境下加热硅片和玻璃板，降低操作人员的劳动风险和强度。
【IPC分类】B28D5-04
【公开号】CN204382522
【申请号】CN201420804645
【发明人】王建锁, 刘明辉
【申请人】阳光硅谷电子科技有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月18日