专利名称：一种硅片切割机的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及硅片切割设备技术领域，具体为一种硅片切割机。
(二)
背景技术：
传统的切割硅晶片设备通常采用磨床磨削切割，而磨削加工在工业上起着 重要作用，它的主要特点是产生的切屑细小，加工精度高，砂轮具有自锐性， 这使磨削具有一系列优点。现在业内对单晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了 大量的实验研究，研究结果表明，对于单晶硅等脆性材料，其表面粗糙度主要
与砂轮的平均磨粒尺寸、进给量等因素有关。当采用超精密磨床并在V s = 1 200m/min、 f二0一500拜/rev、 ap = 0. 1一10拜的 磨削条件下磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于2 Opm，才能在塑 性磨削模式下加工出高质量的光滑表面，其磨削后的表面粗糙度为r m s : 5. 1 4nm、 Ra: 3。这样对于磨床而言，磨削不同的工件，需要更换砂 轮，而置换砂轮， 一方面调整繁琐，另一方面，砂轮的修整占用时间，耗费时 间。
(三) 发明内容
针对问题，本实用新型提供了一种硅片切割机，其针对不同的加工件，不 需要频繁更换部件，且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以 及合格率。
其技术方案是这样的其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割 液的冷却装置，其特征在于收放线结构包括巻绕电机和放线电机，所述巻绕 电机和放线电机分别对应连接巻绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕 过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组 以及另一升降轮后绕于所述巻绕轮；所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件 连接结构、气缸和顶杆装置，所述气缸安装于所述安装架上部，所述顶杆装置 安装于所述安装架的导向孔内，所述气缸的导杆与所述顶杆装置连接，所述顶杆装置与所述工件连接结构连接；硅片切割液的冷却装置包括壳体，所述壳体 内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，所述换热腔上端、下端分别开 有冷却液进液口和出液口，所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、 下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切 割液出液腔和进液腔连通； 其进一步特征在于-
所述顶杆装置包括上顶杆、自由顶杆和下顶杆，所述上顶杆与所述气缸的 导杆连接，所述自由顶杆安装于所述安装架的导向孔，所述下顶杆穿过导套后 并通过其下端的轴肩与夹紧板扣合，所述夹紧板的上端为呈燕尾型的滑块，所 述滑块部位安装于由限位板和V型板围成的滑槽；所述夹紧板的下端从所述限 位板伸出后与连接板连接；在所述导套的上部压装有弹簧，所述弹簧套装于所 述下顶杆，所述弹簧的上端压装有导套，所述导套套装于所述下顶杆并并通过 螺母固定；
所述升降轮安装于转轴，所述转轴安装于摆杆的一端，所述摆杆的另一端 安装于支架；所述调整轮、升降轮和所述轮组分别设置于所述导轮的下侧和上 侧；所述轮组分别包括3个导向轮。
所述切割液进液腔和出液腔分别包括固定法兰和封头；所述固定法兰安装 于所述壳体两端；所述固定法兰与所述封头之间通过连接法兰连接；所述连接 法兰与所述固定法兰之间设置有垫片；出液腔的出液口和进液腔的进液口分别 设置于对应端的所述封头；所述固定法兰上开有通孔，所述管道分别插装于两 端所述固定法兰的所述通孔。
将上述结构用于切割机，切割硅片时，只要配以匹配的流体磨料，就可以 方便、快速的对硅片进行切割，效率高。
图1为本实用新型中收放线结构的主视图2为1图中收放线结构的俯视图3为本实用新型中工件夹紧释放装置的主视图4为本实用新型中硅片切割液的冷却装置的主视图剖视图5为图4中硅片切割液的冷却装置的俯视5图6为本实用新型主视的结构示意图7为图6中本实用新型的B-B向的示意图。 具体实施方式
见图1、图2、图6、图7,本实用新型包括收放线结构、工件夹紧释放装 置、硅片切割液的冷却装置，收放线结构包括巻绕电机和放线电机l，巻绕电机 和放线电机1分别对应连接巻绕轮11和放线轮2，放线轮2上的钢丝线依次绕 过升降轮IO、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮12、 7后再绕调整轮13 (轮组 包括导轮4、 14、 15)，接着沿另一轮组(轮组包括导轮19、 17、 18)、 14、 15) 以及另一升降轮(图2中被导轮17遮住)后绕于巻绕轮ll。升降轮10以及另 一升降轮分别安装于转轴16，转轴16分别安装于摆杆5的一端，摆杆5的另一 端分别安装于支架6;调整轮13、升降轮10和导轮4、 14、 15分别设置于导轮 12、 7的下侧和上侧。3为钢丝线，8为主辊电机、9为机架、。
见图3，工件夹紧释放装置包括安装架22、工件连接结构、气缸20和顶杆 装置，气缸20安装于安装架22上部，顶杆装置安装于安装架22的导向孔内， 气缸20的导杆与顶杆装置连接，顶杆装置与工件连接结构连接。顶杆装置包括 上顶杆21、自由顶杆23和下顶杆27，上顶杆21与气缸20的导杆连接，自由 顶杆23安装于安装架22的导向孔中，下顶杆27穿过导套30后并通过其下端 的轴肩与夹紧板34扣合，夹紧板34的上端为呈燕尾型的滑块，滑块部位安装 于由限位板33和V型板31围成的滑槽；夹紧板34的下端从限位板33伸出后 与连接板35连接；在导套30的上部压装有弹簧26，弹簧26套装于下顶杆27, 弹簧26的上端压装有导套25，导套25套装于下顶杆27并通过螺母24固定， 28、 29、 32分别为螺钉。
以下结合附图说明一下工作过程开始装夹工件36时， 将工件36粘接在连接板35下端面，然后气缸20换向带动上顶杆21向上动作， 弹簧26释放，将下顶杆27、自由顶杆23向上顶起，同时带动夹紧板34向上动 作直至夹紧板34的两个斜面压紧V型板31的两斜面，此时工件36即被握持； 释放工件36时，气缸20换向向下动作，推动上顶杆21向下动作，上顶杆21 推动下顶杆向下，向下压縮弹簧26，带动夹紧板34向下落在限位板33的上平 面，将夹紧板34从滑槽拉出，工件36即被释放。
见图4、图5，硅片切割液的冷却装置包括壳体38，壳体38上下两端分别设置有切割液出液腔和进液腔，切割液进液腔与出液腔之间通过管道39连接， 壳体表面上下两端分别开有冷却水进水口 46和出水口 40。切割液出液腔和进液 腔均包括固定法兰47、 41和封头44、 50，固定法兰47、 41分别安装于壳体39 的上下两端；固定法兰47、 41与封头44、 50之间分别通过连接法兰49、 37连 接；连接法兰49、 37与固定法兰47、 41之间分别设置有垫片50、 49;封头44、 50上分别开有进液口 45和出液口 37;固定法兰47、 41上开有通孔；管道39 插在通孔中；管道39设置有若干根。下面描述一下本实用新型的具体工作过程 工作时，切割液从壳体38下端的进液口 45进入切割液进液腔，然后通过管道 39进入切割液出液腔，并从壳体38上端的切割液出液口 37流出，切割液中的 杂质颗粒沉淀在进液腔内，不会与切割液一起再循环切割硅片，保证硅片的切 割质量；冷却液从进液口 46进入壳体38与管道39外壁构成的水腔内，再从出 液口 40流出，这样冷却液与切割液通过管道39的内外壁完成热交换、42、 48 为垫片、43为连接法兰，图6、图7中51为进给电机、52为导轨、53为进给 皮带、54为滑块、55为配重气缸、56搅拌缸、57、 58为砂浆冷却管、59冷却 泵、60砂浆循环泵、61搅拌电机、62管、63为喷嘴，上述部件的连接结构属 现有技术，负责实现切割液的循环。
权利要求1、一种硅片切割机，其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置，其特征在于收放线结构包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮；所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连接结构、气缸和顶杆装置，所述气缸安装于所述安装架上部，所述顶杆装置安装于所述安装架的导向孔内，所述气缸的导杆与所述顶杆装置连接，所述顶杆装置与所述工件连接结构连接；硅片切割液的冷却装置包括壳体，所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，所述换热腔上端、下端分别开有冷却液进液口和出液口，所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。
2、 根据权利要求1所述一种硅片切割机，其特征在于所述顶杆装置包括 上顶杆、自由顶杆和下顶杆，所述上顶杆与所述气缸的导杆连接，所述自由顶 杆安装于所述安装架的导向孔，所述下顶杆穿过导套后并通过其下端的轴肩与 夹紧板扣合，所述夹紧板的上端为呈燕尾型的滑块，所述滑块部位安装于由限 位板和V型板围成的滑槽；所述夹紧板的下端从所述限位板伸出后与连接板连 接；在所述导套的上部压装有弹簧，所述弹簧套装于所述下顶杆，所述弹簧的 上端压装有导套，所述导套套装于所述下顶杆并并通过螺母固定。
3、 根据权利要求1所述一种硅片切割机，其特征在于所述升降轮安装于 转轴，所述转轴安装于摆杆的一端，所述摆杆的另一端安装于支架；所述调整 轮、升降轮和所述轮组分别设置于所述导轮的下侧和上侧；所述轮组分别包括3 个导向轮。
4、 根据权利要求1所述一种硅片切割机，其特征在于所述切割液进液腔 和出液腔分别包括固定法兰和封头；所述固定法兰安装于所述壳体两端；所述 固定法兰与所述封头之间通过连接法兰连接；所述连接法兰与所述固定法兰之 间设置有垫片；出液腔的出液口和进液腔的进液口分别设置于对应端的所述封头；所述固定法兰上开有通孔，所述管道分别插装于两端所述固定法兰的所述通孑L。
专利摘要本实用新型提供了一种硅片切割机。其针对不同的加工件，不需要频繁更换部件，且其在保证对硅片快速切割的同时保证了硅片表面质量以及合格率。其包括收放线结构、工件夹紧释放装置、硅片切割液的冷却装置，其特征在于收放线结构包括卷绕电机和放线电机，所述卷绕电机和放线电机分别对应连接卷绕轮和放线轮，所述放线轮上的钢丝线依次绕过升降轮、轮组后绕过沿平行布置的两个导轮后再绕调整轮，接着沿另一轮组以及另一升降轮后绕于所述卷绕轮；所述工件夹紧释放装置包括安装架、工件连接结构、气缸和顶杆装置；硅片切割液的冷却装置包括壳体，所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。
文档编号B28D7/00GK201361950SQ20092003624
公开日2009年12月16日 申请日期2009年3月9日 优先权日2009年3月9日
发明者吕洪明, 张宏兵, 陈世强 申请人:无锡开源太阳能设备科技有限公司