专利名称：用于清洗晶圆盒底部的机器的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种清洗机器，尤其涉及一种用于清洗晶圆盒底部的机器。
背景技术：
半导体生产领域内，大多数的晶圆盒底部是由塑料制成的。当晶圆盒在运输过程 中以及在机台上面，容易使得晶圆盒底部和其他部件(包括机台)之间的接触面发生磨损， 从而会产生大量塑料小颗粒。在跑货的时候，晶圆盒会打开，以便将晶圆放入晶圆盒或将晶 圆从晶圆盒中取出。而当晶圆盒打开的时候，这些塑料小颗粒会乘机进入晶圆盒内，容易附 着到晶圆上，不但会污染晶圆，而且会造成很多晶圆被塑料小颗粒划伤，最终致使产品良率 的降低。当出现这样情况时，操作人员会将机台停下来，清洗晶圆盒、晶圆盒底部以及相关 的标准机械接口。而频繁的停机清洗，会严重影响生产效率。因此，如何提供一种方便、彻底地清洗晶圆的底部的机器是本领域亟待解决的一 个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于清洗晶圆盒底部的机器，可以方便、彻底地 清洗晶圆的底部。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案—种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于 擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部 件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述清洗部件包括若干滚轮，所述滚轮 的圆柱外表面绕置有清洗布。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述清洗布是无尘布。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述驱动部件通过传送皮带带动所述清 洗部件中的各个滚轮转动。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述滚轮的数量是2-6个。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述滚轮的数量是4个。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述排气装置是一抽排管路，所述抽排 管路连接外部的用于产生负压的雾气收集器。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，还包括电气柜和控制面板，所述控制面 板与设置于所述电气柜内的用于控制驱动部件和排气装置的控制元件相连接。在上述的用于清洗晶圆盒底部的机器中，所述电气柜设置在所述主工作台的侧 本实用新型用于清洗晶圆盒底部的机器，结构简单，使用方便，通过转动的清洗部件，可以将附着于晶圆盒底部内壁的塑料小颗粒擦拭下来，然后通过排气装置将晶圆盒底 部的空间内的塑料小颗粒抽排出去，从而，彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，进而， 防止这些塑料小颗粒进入晶圆盒而影响晶圆产品良率。同时，避免了机台由于要清洗相关 部件而不得不停机所造成的损失。
本实用新型的用于清洗晶圆盒底部的机器由以下的实施例及附图给出。图1是用于清洗晶圆盒底部的机器的结构示意图；图2是图1的右视图；图3是图1的俯视图；图中，1-主工作台、2-电气柜、3-减速电机、4-传送皮带、5-滚轮、6_抽排管路、 7-雾气收集器、8-控制面板、81-急停按钮、82-启动按钮、83-停止按钮、9-防护盖、10-固 定板。
具体实施方式
以下将对本实用新型的用于清洗晶圆盒底部的机器作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参见图1-3，图1所示为用于清洗晶圆盒底部的机器的一个实施例的结构示意 图，图2是图1的右视图，图3是图1的俯视图。从图1-3中可见，这种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台1，所述主工作 台1的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台1内还设有用于驱动 所述清洗部件的驱动部件。所述驱动部件采用减速电机3。所述减速电机3的底座通过一 固定板10固定设置于所述主工作台1的顶部。所述主工作台1的内部对应清洗部件的下 方设有排气装置。所述排气装置是一抽排管路6，所述抽排管路6连接外部的用于产生负压 (即具有抽吸功能)的雾气收集器7。所述清洗部件包括若干滚轮5，所述滚轮5通过支架设置于所述主工作台的顶部 且位于所述减速电机3的上方。所述滚轮5的圆柱外表面绕置有清洗布。本实施例中，所 述清洗布采用无尘布。所述驱动部件通过传送皮带4带动所述清洗部件中的各个滚轮5转动。所述主工作台1顶部一侧设有防护盖9，用于保护减速电机3和传送皮带4及滚轮5。 优选，所述滚轮5的数量是2-6个。本实施例中，所述滚轮5的数量是4个。在本实施例中，该用于清洗晶圆盒底部的机器中，还包括电气柜2和控制面板8， 所述控制面板8与设置于所述电气柜2内的用于控制驱动部件和排气装置的控制元件相连 接。所述控制面板8设置在主工作台1上方便操作人员操作的地方。所述控制面板8包括 三个控制键急停按钮81、启动按钮82和停止按钮83。这些控制键分别与控制元件相连 接。所述电气柜2设置在所述主工作台1的侧面。所述雾气收集器7设置在所述电气柜2 的下方。本实用新型是这样工作的请继续参阅图1-3，当晶圆盒底部需要清洗时，将该晶圆盒底部套置在所述清洗部 件外，使得滚轮5在转动的时候可以擦拭附着在晶圆盒底部内壁上的塑料小颗粒。通过控 制面板8的启动按钮82开启该机器，减速电机3开始工作，并通过传送皮带4带动所述清 洗部件中的各个滚轮5转动，使得外裹无尘布的滚轮5在转动的时候可以擦拭附着在晶圆 盒底部内壁上的塑料小颗粒，同时，排气装置不停抽吸，将无尘布擦拭下来的塑料小颗粒统 统抽吸到所述雾气收集器7。从而彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，防止这些塑料小 颗粒进入晶圆盒而影响晶圆产品良率。同时，避免了机台由于要清洗相关部件而不得不停 机所造成的损失。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。
2.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述清洗部件包括 若干滚轮，所述滚轮的圆柱外表面绕置有清洗布。
3.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述清洗布是无尘布。
4.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述驱动部件通过 传送皮带带动所述清洗部件中的各个滚轮转动。
5.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述驱动部件是减 速电机。
6.如权利要求2所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述滚轮的数量是 2-6 个。
7.如权利要求6所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述滚轮的数量是4个。
8.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述排气装置是一 抽排管路，所述抽排管路连接外部的用于产生负压的雾气收集器。
9.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，还包括电气柜和控 制面板，所述控制面板与设置于所述电气柜内的用于控制驱动部件和排气装置的控制元件 相连接。
10.如权利要求1所述的用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，所述电气柜设置在 所述主工作台的侧面。
专利摘要本实用新型涉及一种清洗机器，尤其涉及一种用于清洗晶圆盒底部的机器。这种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。本实用新型，结构简单，使用方便，通过转动的清洗部件，可以将附着于晶圆盒底部内壁的塑料小颗粒擦拭下来，然后通过排气装置将晶圆盒底部的空间内的塑料小颗粒抽排出去，从而彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，防止这些塑料小颗粒进入晶圆盒污染晶圆致使晶圆良率降低。同时，也避免了机台由于要清洗相关部件而不得不停机所造成的损失。
文档编号B08B1/04GK201728197SQ20102024639
公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者桂鹏, 田华 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司