专利名称：等离子清洁机及等离子清洁方法
技术领域：
本发明关于一种等离子清洁机及等离子清洁方法，特别是有关于一种可确 认清洁路径的等离子清洁机及等离子清洁方法。
背景技术：
在制造显示器(如液晶显示器或等离子显示器)的过程中，常使用等离子清
洁(Plasma clean)方式来进行各种端子部或接合面的清洗，例如氧化铟锡(ITO) 电极与驱动芯片的接合面、电路板端子以及电极部的清洗等。
目前等离子清洁机的清洁路径没有量化的方法，只能通过目测观察清洁的 路径，这存在很大误差；且清洁设备内结构复杂，目测观察不易，造成清洁路 径确认更加困难，从而导致清洁调整时间过长、清洁效果不佳。
请参见图1，图1为理想情况下的清洁机工作示意图。以清洁液晶面板12 为例，液晶面板12包括上基板121、液晶层122和下基板123，在理想情况下， 等离子喷枪11发出的等离子火焰112需要落在下基板123的待清洁区域124 内。请结合参见图2A和图2B,图2A和图2B分别为故障情况下的清洁机工作 示意图。如图2A所示，等离子火焰112太靠近液晶面板12的内侧，部分火焰 甚至落到上基板121上，导致清洁工作故障。如图2B所示，等离子火焰112 落在了液晶面板12的外侧，并脱离了待清洁区域124，因此将起不到应有的 清洁功效。
发明内容
针对上述技术问题，本发明利用等离子清洁时产生高温，使贴附在待清洁 物体上的感温单元受到温度影响而颜色发生变化，来确认清洁路径。
本发明的目的之一在于提供一种等离子清洁机，其包括载具、等离子喷枪、 感温单元和调整单元。等离子喷枪籍由等离子火焰清洁由载具送达的待清洁物 体。感温单元贴附于待清洁物体，该感温单元沿第一方向经过等离子喷枪时颜 色发生变化，并发出调整信号。调整单元分别连接于载具和等离子喷枪，根据 调整信号调整该等离子喷枪与该载具于第二方向的相对位置。
根据本发明，感温单元包括带有刻度的感温试纸，该感温试纸在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生变化。调整信号是利用该感温试纸上的刻度
而得到。等离子喷枪产生等离子火焰，该等离子火焰温度大于IOO摄氏度。
本发明的另一目的在于提供一种等离子清洁方法，利用等离子喷枪清洁待
清洁物体，其包含以下步骤
将感温单元贴附在该待清洁物体上；
该感温单元沿第 一方向经过该等离子喷冲全时颜色发生变化，才艮据颜色变化 确认清洁路径；
若该清洁路径不合格，调整该等离子喷枪与该待清洁物体于第二方向的相 对位置。
根据本发明，该感温单元包括感温试纸，该感温试纸于第二方向具有刻度。 感温试纸在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生变化。根据感温试纸上 的刻度调整该等离子喷枪与该待清洁物体的相对位置。待清洁物体上具有待清 洁区域，该清洁路径不合格是指该清洁路径不在该待清洁区域内。将待清洁物 体放置于载具上，该待清洁物体随该载具移动而调整该待清洁物体与该等离子 喷枪于第二方向的相对位置。若清洁路径合格，保持此时待清洁物体与等离子 喷枪于第二方向的相对位置，并让该待清洁物体与该等离子喷枪沿第一方向相 向移动，完成清洁作业。
通过本发明，可量化等离子清洁机的清洁路径，减少调试确认清洁路径时 间，保证了等离子清洁的清洁效果。
图1为为理想情况下的清洁机工作示意图2A与图2B分别为故障情况下的清洁机工作示意图3为本发明的等离子清洁机的结构示意图4为本发明一实施例的感温试纸示意图5、图6与图7分别为本发明一实施例的工作原理图8为本发明的等离子清洁方法流程图。
具体实施例方式
为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实 施例详细i兌明如下。
本发明提供一种等离子清洁机及等离子清洁方法，下述实施例主要针对液 晶面板端子部的清洁，但需要说明的是，本发明并非仅限于此。请参见图3，
5图3为本发明的等离子清洁机30的结构示意图。等离子清洁机30包括载具 33和等离子喷枪31,等离子喷枪31籍由等离子清洁方式清洁由载具33送达 的待清洁物体32。等离子喷枪31产生等离子火焰312,在实际应用中，等离 子火焰312温度大于IOO摄氏度。等离子清洁机30还包括感温单元34和调整 单元35。
感温单元34贴附于待清洁物体32,该感温单元34在经过等离子喷枪31 时颜色发生变化，并发出调整信号。请结合图4，图4为本发明一实施例的感 温试纸341示意图。感温单元34包括带有刻度的感温试纸341。在一实施例 中，感温试纸341在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生变化。该调整 信号可以利用感温试纸341上的刻度得到，具体原理容后详述。需要说明的是， 感温单元34还可以是包括其它感温元件，只要其在等离子火焰影响下颜色会 发生变化既可。
调整单元35分别连接于载具33和等离子喷枪31,根据该调整信号调整 等离子喷枪31与载具33的相对位置。在实际应用中，调节单元可以于第二方 向A仅调节载具33或仅调节等离子喷枪31,也可以对二者同时调节。
请参见图5、图6与图7，其分别为本发明一实施例的工作原理图。如图 5所示，待清洁物体为包括上基板321和下基板323的液晶面板，下基板323 上具有待清洁区域324，将带有刻度的感温试纸341贴附在待清洁区域324处。 在实际应用中，可将感温试纸341的某一刻度对应于待清洁区域324的某一参 考位置，感温试纸341的数量和大小并无限制。
结合图3与图6所示，当待清洁物体32沿第一方向X朝等离子喷枪31 作直线移动，等离子火焰312沿清洁路径311经过待清洁区域324时，感温试 纸341上与清洁路径311重叠的区域342会因为高温而发生颜色变化。如图6 中的斜紋阴影区域，该区域342正好与待清洁区域324重合，则说明此时等离 子火焰312的清洁路径311是合格的。保持此时待清洁物体32于第二方向A 相对等离子喷枪31的位置，使待清洁物体32沿第一方向X直线移动，即可完 成清洁作业。在另一实施例中，也可以是仅沿第一方向X移动等离子喷枪31 而固定待清洁物体32,或者是两者同时相向移动，其原理与上相同，在此不 再赘述。
结合图3与图7所示，当等离子火焰312沿清洁路径311，经过待清洁区 域324时，感温试纸341上与清洁路径311，重叠的区域342'会因为高温而发生颜色变化。如图7中的斜紋阴影区域，该区域342与待清洁区域324不重 合，则说明此时等离子火焰312的清洁路径311，是不合格的。清洁路径311， 在第二方向A上与待清洁区域324的距离参数可通过感温试纸341上的刻度观 测得到，并作为调整信号输送给调整单元35。在一实施例中，调整信号可基 于摄像机抓取感温试纸341上的刻度值来得到。
请参见图8,图8为本发明的等离子清洁方法流程图。该等离子清洁方法 利用等离子喷枪31清洁待清洁物体32，其包含以下步骤
S801,将感温单元34贴附在待清洁物体32上。感温单元34包括感温试 纸341,感温试纸341于第二方向A具有刻度。感温试纸341在受到大于80 摄氏度的温度影响下颜色发生变化。
S803,该感温单元34沿第一方向X经过等离子喷枪31时颜色发生变化， 根据颜色变化确认清洁路径。
S805，判别该清洁路径是否合格？
S807，若清洁路径不合格，调整该等离子喷枪31与该待清洁物体32于第 二方向A的相对位置。待清洁物体32上具有待清洁区域324，清洁路径不合 格是指该清洁路径不在该待清洁区域324内。
该等离子清洁方法还包括根据感温试纸341上的刻度来调整等离子喷枪 31与待清洁物体32于第二方向A的相对位置。待清洁物体32可以放置于载 具33上，该待清洁物体32随该载具33移动而调整该待清洁物体32与该等离 子喷枪31于第二方向A的相对位置。在实际应用中，第一方向X和第二方向 A可以一目互垂直。
S809，若清洁路径合格，也即该清洁路径与该待清洁区域324重合，则正 式开始等离子清洁作业。
利用本发明，可量化等离子清洁机的清洁路径，减少调试确认清洁路径时 间，保证了等离子清洁的清洁效果。与传统的目测方式相比，还可杜绝目测时 等离子火焰对人体眼睛的伤害。
本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例-f义为实施本发明的 范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地，在 不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本发明的专利保 护范围。
权利要求
1. 一种等离子清洁机，包括载具和等离子喷枪，该等离子喷枪籍由等离子火焰清洁由该载具送达的待清洁物体，其特征在于该等离子清洁机还包括感温单元，贴附于该待清洁物体，该感温单元沿第一方向经过该等离子喷枪时颜色发生变化，并发出调整信号；调整单元，分别连接于该载具和该等离子喷枪，根据该调整信号调整该等离子喷枪与该载具于第二方向的相对位置。
2. 如权利要求1所述的等离子清洁机，其特征在于该感温单元包括带有刻 度的感温试纸，该感温试纸在受到大于80摄氏度的温度影响下颜色发生 变化。
3. 如权利要求2所述的等离子清洁机，其特征在于该调整信号是利用该感 温试纸上的刻度而得到。
4. 如权利要求1所述的等离子清洁机，其特征在于该等离子火焰温度大于 IOO摄氏度。
5. —种等离子清洁方法，利用等离子喷枪清洁待清洁物体，其特征在于包含 以下步骤将感温单元贴附于该待清洁物体；该感温单元沿第 一方向经过该等离子喷枪时颜色发生变化，根据颜色 变化确认清洁路径；若该清洁路径不合格,调整该等离子喷枪与该待清洁物体于第二方向 的相对位置。
6. 如权利要求5所述的等离子清洁方法，其特征在于该感温单元包括感温 试纸，该感温试纸于该第二方向具有刻度。
7. 如权利要求6所述的等离子清洁方法，其特征在于还包括才艮据该刻度调 整该等离子喷枪与该待清洁物体于该第二方向的相对位置。
8. 如权利要求5所述的等离子清洁方法，其特征在于还包括若清洁路径合 格，保持此时该待清洁物体与该等离子喷枪于该第二方向的相对位置，并 让该待清洁物体与该等离子喷枪沿该第一方向相向移动，完成清洁作业。
9. 如权利要求5所述的等离子清洁方法，其特征在于该待清洁物体上具有 待清洁区域，该清洁路径不合格是指该清洁路径不在该待清洁区域内。
10. 如权利要求5所述的等离子清洁方法，其特征在于还包括将该待清 洁物体放置于载具上，该待清洁物体随该载具移动而调整该待清洁物体与 该等离子喷枪于该第二方向的相对位置。
全文摘要
本发明提供一种等离子清洁机及等离子清洁方法，该等离子清洁机包括载具、等离子喷枪、感温单元和调整单元。等离子喷枪籍由等离子火焰清洁由载具送达的待清洁物体。感温单元贴附于该待清洁物体，该感温单元沿第一方向经过等离子喷枪时颜色发生变化，并发出调整信号。调整单元分别连接于载具和等离子喷枪，根据该调整信号调整该等离子喷枪与该载具于第二方向的相对位置。本发明可量化清洁路径，减少调试确认清洁路径时间，保证了等离子清洁的清洁效果。
文档编号B08B7/00GK101474627SQ20091000286
公开日2009年7月8日 申请日期2009年1月20日 优先权日2009年1月20日
发明者赵卿敏 申请人:友达光电(厦门)有限公司;友达光电股份有限公司